Semicorex jest Twoim partnerem w ulepszaniu przetwarzania półprzewodników. Nasze powłoki z węglika krzemu są gęste, odporne na wysoką temperaturę i chemikalia, które są często stosowane w całym cyklu produkcji półprzewodników, w tym w obróbce płytek półprzewodnikowych i płytek oraz w produkcji półprzewodników.
Komponenty ceramiczne SiC o wysokiej czystości mają kluczowe znaczenie dla procesów zachodzących w półprzewodnikach. Nasza oferta obejmuje części eksploatacyjne do urządzeń do przetwarzania płytek, takich jak łódka z węglika krzemu, łopatki wspornikowe, rury itp. do urządzeń Epitaxy lub MOCVD.
Zalety procesów półprzewodnikowych
Fazy osadzania cienkowarstwowego, takie jak epitaksja lub MOCVD, lub przetwarzanie płytek, takie jak trawienie lub implant jonowy, muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex dostarcza konstrukcję z węglika krzemu (SiC) o wysokiej czystości, która zapewnia doskonałą odporność na ciepło i trwałą odporność chemiczną, a nawet jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi.
Pokrywy komór →
Pokrywy komór stosowane w hodowli kryształów i przetwarzaniu płytek muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne.
Wiosło wspornikowe →
Łopatka wspornikowa jest kluczowym elementem stosowanym w procesach produkcji półprzewodników, szczególnie w piecach dyfuzyjnych lub piecach LPCVD podczas procesów takich jak dyfuzja i RTP.
Rura procesowa →
Rura procesowa to kluczowy element, specjalnie zaprojektowany do różnych zastosowań w przetwarzaniu półprzewodników, takich jak RTP i dyfuzja.
Łódki waflowe →
Wafer Boat jest używany w przetwarzaniu półprzewodników. Został starannie zaprojektowany, aby zapewnić bezpieczeństwo delikatnych płytek podczas krytycznych etapów produkcji.
Pierścienie wlotowe →
Pierścień wlotowy gazu pokryty SiC przez sprzęt MOCVD. Mieszanka ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
Pierścień ostrości →
Semicorex dostarcza pierścień ostrości pokryty węglikiem krzemu, który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.
Uchwyt waflowy →
Ultrapłaskie, ceramiczne uchwyty do płytek próżniowych Semicorex są pokryte SiC o wysokiej czystości, stosowanym w procesie obsługi płytek.
Semicorex oferuje również produkty ceramiczne z tlenku glinu (Al2O3), azotku krzemu (Si3N4), azotku glinu (AIN), tlenku cyrkonu (ZrO2), ceramiki kompozytowej itp.
Dzięki doskonałej twardości, doskonałej odporności na zużycie, niezwykłej odporności na wysokie temperatury i dużej stabilności chemicznej, pierścienie uszczelniające SSIC stały się niezastąpionym rozwiązaniem uszczelniającym w nowoczesnych procesach obróbki. Może być w pełni kompatybilny z trudnymi, złożonymi warunkami pracy, takimi jak wysoka temperatura, wysokie ciśnienie i silna korozja.
Czytaj więcejWyślij zapytanieTarcze ceramiczne Semicorex Carbon wykonane są z zaawansowanego materiału i znajdują zastosowanie w układach hamulcowych w motocyklach, pojazdach i samolotach. Ze względu na właściwości materiału, tarcze węglowo-ceramiczne mogą znacznie zwiększyć żywotność i stabilność podczas szybkiej jazdy oraz stosunkowo zwiększyć bezpieczeństwo jazdy. Semicorex dostarcza wysokiej jakości niestandardowe tarcze węglowo-ceramiczne w oparciu o potrzeby klientów.*
Czytaj więcejWyślij zapytaniePłyta pilśniowa z polikrystalicznego tlenku glinu to wysokowydajny ogniotrwały materiał płytowy o doskonałej odporności na szok termiczny, dużej odporności na korozję i doskonałej odporności na utlenianie. Te właściwości ogniotrwałe sprawiają, że jest on szeroko stosowany w trudnych środowiskach wysokotemperaturowych, w tym w piecach wysokotemperaturowych, piecach wysokotemperaturowych, reaktorach wysokotemperaturowych, rurociągach wysokotemperaturowych, drzwiach pieców wysokotemperaturowych, ścianach pieców wysokotemperaturowych. Wybierając Semicorex, skorzystasz z bardzo opłacalnych cen, spersonalizowanych usług dostosowywania jeden do jednego i wyjątkowej jakości produktu.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePłyta pilśniowa Semicorex zirconia to optymalny, lekki, ogniotrwały materiał włóknisty, który jest w stanie wytrzymać środowiska utleniające w wysokiej temperaturze powyżej 1500 ℃ przez dłuższy czas. Opierając się na swojej wyjątkowej odporności na wysokie temperatury, niskim przewodnictwie cieplnym i zwiększonej stabilności chemicznej, służy jako nienaganne rozwiązanie w zakresie izolacji termicznej wspierające procesy produkcyjne w sektorach przemysłowych charakteryzujących się wysoką temperaturą.
Czytaj więcejWyślij zapytanieWyprodukowane z niezwykłą dbałością o szczegóły, konfigurowalne dysze ceramiczne firmy Semicorex to genialne rozwiązanie do kontrolowania natężenia przepływu zarówno gazów, jak i cieczy z niezrównaną jednorodnością i precyzją. Semicorex z niecierpliwością czeka na dalsze konsultacje.
Czytaj więcejWyślij zapytanieRurka z azotku krzemu Semicorex jest wykonana z wysokowydajnego materiału Si3N4, a parametry wytrzymałości, twardości i przewodności cieplnej są wiarygodne. Semicorex angażuje się w dostarczanie kwalifikowanych produktów na całym świecie.*
Czytaj więcejWyślij zapytanie