Semicorex jest Twoim partnerem w ulepszaniu przetwarzania półprzewodników. Nasze powłoki z węglika krzemu są gęste, odporne na wysoką temperaturę i chemikalia, które są często stosowane w całym cyklu produkcji półprzewodników, w tym w obróbce płytek półprzewodnikowych i płytek oraz w produkcji półprzewodników.
Komponenty ceramiczne SiC o wysokiej czystości mają kluczowe znaczenie dla procesów zachodzących w półprzewodnikach. Nasza oferta obejmuje części eksploatacyjne do urządzeń do przetwarzania płytek, takich jak łódka z węglika krzemu, łopatki wspornikowe, rury itp. do urządzeń Epitaxy lub MOCVD.
Zalety procesów półprzewodnikowych
Fazy osadzania cienkowarstwowego, takie jak epitaksja lub MOCVD, lub przetwarzanie płytek, takie jak trawienie lub implant jonowy, muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex dostarcza konstrukcję z węglika krzemu (SiC) o wysokiej czystości, która zapewnia doskonałą odporność na ciepło i trwałą odporność chemiczną, a nawet jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi.
Pokrywy komór →
Pokrywy komór stosowane w hodowli kryształów i przetwarzaniu płytek muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne.
Wiosło wspornikowe →
Łopatka wspornikowa jest kluczowym elementem stosowanym w procesach produkcji półprzewodników, szczególnie w piecach dyfuzyjnych lub piecach LPCVD podczas procesów takich jak dyfuzja i RTP.
Rura procesowa →
Rura procesowa to kluczowy element, specjalnie zaprojektowany do różnych zastosowań w przetwarzaniu półprzewodników, takich jak RTP i dyfuzja.
Łódki waflowe →
Wafer Boat jest używany w przetwarzaniu półprzewodników. Został starannie zaprojektowany, aby zapewnić bezpieczeństwo delikatnych płytek podczas krytycznych etapów produkcji.
Pierścienie wlotowe →
Pierścień wlotowy gazu pokryty SiC przez sprzęt MOCVD. Mieszanka ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
Pierścień ostrości →
Semicorex dostarcza pierścień ostrości pokryty węglikiem krzemu, który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.
Uchwyt waflowy →
Ultrapłaskie, ceramiczne uchwyty do płytek próżniowych Semicorex są pokryte SiC o wysokiej czystości, stosowanym w procesie obsługi płytek.
Semicorex oferuje również produkty ceramiczne z tlenku glinu (Al2O3), azotku krzemu (Si3N4), azotku glinu (AIN), tlenku cyrkonu (ZrO2), ceramiki kompozytowej itp.
Płyta Semicorex SiC ICP to zaawansowany element półprzewodnikowy zaprojektowany specjalnie w celu spełnienia rygorystycznych wymagań nowoczesnych procesów produkcji półprzewodników. Ten wysokowydajny produkt został zaprojektowany z wykorzystaniem najnowszej technologii materiału z węglika krzemu (SiC), oferując niezrównaną trwałość, wydajność i niezawodność, co czyni go niezbędnym elementem w produkcji najnowocześniejszych urządzeń półprzewodnikowych. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach*.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePłytka trawiąca Semicorex SiC ICP to zaawansowany i niezbędny komponent w przemyśle półprzewodników, zaprojektowany w celu zwiększenia precyzji i wydajności procesów trawienia. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach*.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex Alumina End Effector okazał się niezastąpionym narzędziem w wymagającej dziedzinie produkcji półprzewodników, gdzie nawet mikroskopijne niedoskonałości mogą zagrozić wydajności urządzenia, a rola precyzyjnego obchodzenia się z płytkami jest nie do przecenienia. Efektor końcowy z tlenku glinu zapewnia unikalne połączenie precyzji, czystości i trwałości niezbędnej do manipulowania delikatnymi płytkami krzemowymi w różnych procesach produkcyjnych.**
Czytaj więcejWyślij zapytanieŁopatka wspornikowa Semicorex Custom SiC stała się niezbędnym elementem w branży fotowoltaicznej, odgrywając kluczową rolę w wydajnym i precyzyjnym manipulowaniu płytkami krzemowymi podczas procesów dyfuzji w wysokiej temperaturze. Niestandardowa łopatka wspornikowa SiC, skrupulatnie zaprojektowana z wysokowydajnej ceramiki z węglika krzemu (SiC), oferuje unikalną mieszankę właściwości niezbędnych do utrzymania integralności płytki, zapewnienia jednorodności procesu i maksymalizacji produktywności w wymagających środowiskach pieca dyfuzyjnego.**
Czytaj więcejWyślij zapytanieŁożysko Semicorex SiC dzięki swojej wyjątkowej twardości, wytrzymałości i obojętności chemicznej stało się kamieniem węgielnym w wymagających zastosowaniach inżynieryjnych w różnych gałęziach przemysłu. Po zastosowaniu w łożyskach SiC otwiera nowy poziom wydajności i niezawodności, szczególnie w środowiskach charakteryzujących się ekstremalnymi temperaturami, substancjami korozyjnymi i rygorystycznymi wymogami czystości. W Semicorex zajmujemy się produkcją i dostarczaniem wysokowydajnych łożysk SiC, które łączą jakość z opłacalnością.**
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień uszczelniający z węglika krzemu Semicorex stał się kluczową technologią wspomagającą w branży półprzewodników, oferującą niezrównaną wydajność i niezawodność w obliczu coraz bardziej wymagających warunków procesowych. Ich unikalne połączenie właściwości materiałowych sprawia, że idealnie nadają się do szerokiego zakresu zastosowań, zapewniając optymalny czas pracy sprzętu, wydłużony cykl życia komponentów i ostatecznie niższy całkowity koszt posiadania. W Semicorex specjalizujemy się w produkcji i dostarczaniu wysokowydajnych pierścieni uszczelniających z węglika krzemu który łączy jakość z opłacalnością.**
Czytaj więcejWyślij zapytanie