Semicorex jest Twoim partnerem w ulepszaniu przetwarzania półprzewodników. Nasze powłoki z węglika krzemu są gęste, odporne na wysoką temperaturę i chemikalia, które są często stosowane w całym cyklu produkcji półprzewodników, w tym w obróbce płytek półprzewodnikowych i płytek oraz w produkcji półprzewodników.
Komponenty ceramiczne SiC o wysokiej czystości mają kluczowe znaczenie dla procesów zachodzących w półprzewodnikach. Nasza oferta obejmuje części eksploatacyjne do urządzeń do przetwarzania płytek, takich jak łódka z węglika krzemu, łopatki wspornikowe, rury itp. do urządzeń Epitaxy lub MOCVD.
Zalety procesów półprzewodnikowych
Fazy osadzania cienkowarstwowego, takie jak epitaksja lub MOCVD, lub przetwarzanie płytek, takie jak trawienie lub implant jonowy, muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex dostarcza konstrukcję z węglika krzemu (SiC) o wysokiej czystości, która zapewnia doskonałą odporność na ciepło i trwałą odporność chemiczną, a nawet jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi.
Pokrywy komór →
Pokrywy komór stosowane w hodowli kryształów i przetwarzaniu płytek muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne.
Wiosło wspornikowe →
Łopatka wspornikowa jest kluczowym elementem stosowanym w procesach produkcji półprzewodników, szczególnie w piecach dyfuzyjnych lub piecach LPCVD podczas procesów takich jak dyfuzja i RTP.
Rura procesowa →
Rura procesowa to kluczowy element, specjalnie zaprojektowany do różnych zastosowań w przetwarzaniu półprzewodników, takich jak RTP i dyfuzja.
Łódki waflowe →
Wafer Boat jest używany w przetwarzaniu półprzewodników. Został starannie zaprojektowany, aby zapewnić bezpieczeństwo delikatnych płytek podczas krytycznych etapów produkcji.
Pierścienie wlotowe →
Pierścień wlotowy gazu pokryty SiC przez sprzęt MOCVD. Mieszanka ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
Pierścień ostrości →
Semicorex dostarcza pierścień ostrości pokryty węglikiem krzemu, który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.
Uchwyt waflowy →
Ultrapłaskie, ceramiczne uchwyty do płytek próżniowych Semicorex są pokryte SiC o wysokiej czystości, stosowanym w procesie obsługi płytek.
Semicorex oferuje również produkty ceramiczne z tlenku glinu (Al2O3), azotku krzemu (Si3N4), azotku glinu (AIN), tlenku cyrkonu (ZrO2), ceramiki kompozytowej itp.
Płytka trawiąca Semicorex ICP to zaawansowany, wysokowydajny komponent zaprojektowany specjalnie do zastosowań półprzewodnikowych, wykonany z materiału węglika krzemu (SiC). Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach*.
Czytaj więcejWyślij zapytanieOdbłyśnik Semicorex SiC jest kluczowym elementem w różnych procesach produkcji półprzewodników. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach*.
Czytaj więcejWyślij zapytanieCeramiczne płyty do przenoszenia ciepła Semicorex SiC, oparte na SiC jako materiale podstawowym, poddawane są spiekaniu w wysokiej temperaturze w temperaturze 2250°C, w wyniku czego powstają wysoce zeszklone, gęste elementy ceramiczne o zerowej porowatości i zawartości SiC ≥99,3%. Wykazując wytrzymałość na zginanie ≥410 MPa i przewodność cieplną 140 W/m.k, ceramika ta jest jedynym materiałem odpornym na korozję powodowaną przez silne kwasy, takie jak kwas fluorowodorowy (HF) i kwas siarkowy (H2SO4) w przemyśle półprzewodników. W Semicorex specjalizujemy się w produkcji i dostarczaniu wysokowydajnych ceramicznych płyt do przenoszenia ciepła SiC, które łączą jakość z opłacalnością. **
Czytaj więcejWyślij zapytanieCeramiczne części konstrukcyjne Semicorex z węglika krzemu, uzyskane z ziaren węglika krzemu połączonych ze sobą poprzez spiekanie, znajdują szerokie zastosowanie w sektorach motoryzacyjnym, mechanicznym, chemicznym, półprzewodników, technologii kosmicznej, mikroelektroniki i energetyki, spełniając kluczową rolę w różnorodnych zastosowaniach w tych branżach. Ze względu na swoje niezwykłe właściwości ceramiczne części konstrukcyjne z węglika krzemu stały się idealnym materiałem do stosowania w trudnych warunkach charakteryzujących się wysokimi temperaturami, wysokimi ciśnieniami, korozją i ścieraniem, zapewniając niezawodne działanie i trwałość w trudnych warunkach operacyjnych.**
Czytaj więcejWyślij zapytanieKołnierze ceramiczne z tlenku glinu to zaprojektowane komponenty, które oferują znaczne korzyści, szczególnie w zastosowaniach, w których stabilność termiczna, względy wagowe i odporność na korozję mają ogromne znaczenie. Kołnierze te są nie tylko trwałe i niezawodne, ale także przyczyniają się do ogólnej wydajności i opłacalności systemów, w których są stosowane. Ich unikalne właściwości czynią je doskonałym wyborem dla zaawansowanych rozwiązań inżynieryjnych w różnych sektorach przemysłu. W Semicorex specjalizujemy się w produkcji i dostarczaniu wysokowydajnych kołnierzy ceramicznych z tlenku glinu, które łączą jakość z opłacalnością.**
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyt próżniowy Semicorex Alumina to precyzyjne urządzenie mocujące przeznaczone do zaawansowanych zastosowań produkcyjnych i badawczych. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach*.
Czytaj więcejWyślij zapytanie