Powłoka SiC to cienka warstwa na susceptorze w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Materiał z węglika krzemu ma wiele zalet w porównaniu z krzemem, w tym 10-krotnie większe natężenie pola elektrycznego przebicia, 3-krotnie większe pasmo wzbronione, co zapewnia materiałowi wysoką temperaturę i odporność chemiczną, doskonałą odporność na zużycie oraz przewodność cieplną.
Semicorex zapewnia usługi dostosowane do indywidualnych potrzeb, pomaga wprowadzać innowacje w zakresie komponentów, które wytrzymają dłużej, skracają czasy cykli i poprawiają wydajność.
Powłoka SiC ma kilka unikalnych zalet
Odporność na wysoką temperaturę: Susceptor pokryty CVD SiC może wytrzymać wysokie temperatury do 1600°C bez znaczącej degradacji termicznej.
Odporność chemiczna: Powłoka z węglika krzemu zapewnia doskonałą odporność na szeroką gamę substancji chemicznych, w tym kwasy, zasady i rozpuszczalniki organiczne.
Odporność na zużycie: Powłoka SiC zapewnia materiałowi doskonałą odporność na zużycie, dzięki czemu nadaje się do zastosowań wymagających dużego zużycia.
Przewodność cieplna: Powłoka CVD SiC zapewnia materiałowi wysoką przewodność cieplną, dzięki czemu nadaje się do stosowania w zastosowaniach wysokotemperaturowych, które wymagają wydajnego przenoszenia ciepła.
Wysoka wytrzymałość i sztywność: Susceptor pokryty węglikiem krzemu zapewnia materiałowi dużą wytrzymałość i sztywność, dzięki czemu nadaje się do zastosowań wymagających dużej wytrzymałości mechanicznej.
Powłoka SiC jest stosowana w różnych zastosowaniach
Produkcja diod LED: Susceptor pokryty CVD SiC jest stosowany w produkcji różnych typów diod LED, w tym diod LED niebieskich i zielonych, diod LED UV i diod LED głębokiego UV, ze względu na wysoką przewodność cieplną i odporność chemiczną.
Komunikacja mobilna: Susceptor pokryty CVD SiC jest kluczową częścią HEMT niezbędną do zakończenia procesu epitaksjalnego GaN-na-SiC.
Obróbka półprzewodników: Susceptor pokryty CVD SiC jest stosowany w przemyśle półprzewodników do różnych zastosowań, w tym do przetwarzania płytek i wzrostu epitaksjalnego.
Elementy grafitowe pokryte SiC
Powłoka wykonana z grafitu z powłoką z węglika krzemu (SiC) jest nakładana metodą CVD na określone gatunki grafitu o dużej gęstości, dzięki czemu może pracować w piecu wysokotemperaturowym o temperaturze ponad 3000°C w atmosferze obojętnej i 2200°C w próżni .
Specjalne właściwości i niewielka masa materiału umożliwiają szybkie nagrzewanie, równomierny rozkład temperatury i wyjątkową precyzję sterowania.
Dane materiałowe powłoki Semicorex SiC
Typowe właściwości |
Jednostki |
Wartości |
Struktura |
|
Faza β FCC |
Orientacja |
Frakcja (%) |
Preferowane 111 |
Gęstość nasypowa |
g/cm3 |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Pojemność cieplna |
J kg-1 K-1 |
640 |
Rozszerzalność cieplna 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Moduł Younga |
Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃) |
430 |
Rozmiar ziarna |
µm |
2 ~ 10 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Felexuralna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Wnioski Susceptor pokryty CVD SiC jest materiałem kompozytowym łączącym w sobie właściwości susceptora i węglika krzemu. Materiał ten posiada unikalne właściwości, w tym odporność na wysoką temperaturę i chemikalia, doskonałą odporność na zużycie, wysoką przewodność cieplną oraz wysoką wytrzymałość i sztywność. Te właściwości sprawiają, że jest to atrakcyjny materiał do różnych zastosowań wysokotemperaturowych, w tym do obróbki półprzewodników, obróbki chemicznej, obróbki cieplnej, produkcji ogniw słonecznych i produkcji diod LED.
Płyta uchwytu satelitarnego Semicorex MOCVD to wyjątkowy nośnik przeznaczony do stosowania w przemyśle półprzewodników. Wysoka czystość, doskonała odporność na korozję, a nawet profil termiczny sprawiają, że jest to doskonały wybór dla osób poszukujących nośnika, który wytrzyma wymagania procesu produkcyjnego półprzewodników. Zależy nam na dostarczaniu naszym klientom produktów wysokiej jakości, spełniających ich specyficzne wymagania. Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszej płycie uchwytu satelitarnego MOCVD i o tym, jak możemy Ci pomóc w zaspokojeniu Twoich potrzeb w zakresie produkcji półprzewodników.
Czytaj więcejWyślij zapytanieMożesz mieć pewność, że kupisz nośniki wafli z powłoką grafitową SiC do MOCVD z naszej fabryki. W Semicorex jesteśmy producentem i dostawcą grafitu powlekanego SiC na dużą skalę w Chinach. Nasz produkt ma dobrą przewagę cenową i obejmuje wiele rynków europejskich i amerykańskich. Staramy się dostarczać naszym klientom produkty wysokiej jakości, spełniające ich specyficzne wymagania. Nasz nośnik waflowy z powłoką SiC do MOCVD to doskonały wybór dla tych, którzy szukają nośnika o wysokiej wydajności do swojego procesu produkcji półprzewodników.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSusceptory grafitowe powlekane Semicorex SiC do MOCVD to najwyższej jakości nośniki stosowane w przemyśle półprzewodników. Nasz produkt został zaprojektowany z wysokiej jakości węglika krzemu, który zapewnia doskonałą wydajność i długotrwałą trwałość. Nośnik ten idealnie nadaje się do zastosowania w procesie narastania warstwy epitaksjalnej na chipie waflowym.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSusceptory Semicorex do reaktorów MOCVD to wysokiej jakości produkty stosowane w przemyśle półprzewodników do różnych zastosowań, takich jak warstwy węglika krzemu i półprzewodniki epitaksyjne. Nasz produkt jest dostępny w kształcie koła zębatego lub pierścienia i został zaprojektowany tak, aby uzyskać odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze, dzięki czemu jest stabilny w temperaturach do 1600°C.
Czytaj więcejWyślij zapytanieMożesz mieć pewność, że kupisz silikonowe susceptory epitaksji z naszej fabryki. Silicon Epitaxy Susceptor firmy Semicorex to wysokiej jakości produkt o wysokiej czystości stosowany w przemyśle półprzewodników do epitaksjalnego wzrostu chipów waflowych. Nasz produkt posiada doskonałą technologię powlekania, która zapewnia, że powłoka jest obecna na wszystkich powierzchniach, zapobiegając złuszczaniu się. Produkt jest stabilny w wysokich temperaturach do 1600°C, dzięki czemu nadaje się do stosowania w ekstremalnych warunkach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex jest wiodącym producentem i dostawcą susceptora SiC do MOCVD. Nasz produkt został specjalnie zaprojektowany, aby zaspokoić potrzeby przemysłu półprzewodników w zakresie narastania warstwy epitaksjalnej na chipie waflowym. Produkt stosowany jako płyta środkowa w MOCVD, z przekładnią lub w kształcie pierścienia. Ma wysoką odporność na ciepło i korozję, dzięki czemu idealnie nadaje się do stosowania w ekstremalnych warunkach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie