Powłoka SiC to cienka warstwa na susceptorze w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Materiał z węglika krzemu ma wiele zalet w porównaniu z krzemem, w tym 10-krotnie większe natężenie pola elektrycznego przebicia, 3-krotnie większe pasmo wzbronione, co zapewnia materiałowi wysoką temperaturę i odporność chemiczną, doskonałą odporność na zużycie oraz przewodność cieplną.
Semicorex zapewnia usługi dostosowane do indywidualnych potrzeb, pomaga wprowadzać innowacje w zakresie komponentów, które wytrzymają dłużej, skracają czasy cykli i poprawiają wydajność.
Powłoka SiC ma kilka unikalnych zalet
Odporność na wysoką temperaturę: Susceptor pokryty CVD SiC może wytrzymać wysokie temperatury do 1600°C bez znaczącej degradacji termicznej.
Odporność chemiczna: Powłoka z węglika krzemu zapewnia doskonałą odporność na szeroką gamę substancji chemicznych, w tym kwasy, zasady i rozpuszczalniki organiczne.
Odporność na zużycie: Powłoka SiC zapewnia materiałowi doskonałą odporność na zużycie, dzięki czemu nadaje się do zastosowań wymagających dużego zużycia.
Przewodność cieplna: Powłoka CVD SiC zapewnia materiałowi wysoką przewodność cieplną, dzięki czemu nadaje się do stosowania w zastosowaniach wysokotemperaturowych, które wymagają wydajnego przenoszenia ciepła.
Wysoka wytrzymałość i sztywność: Susceptor pokryty węglikiem krzemu zapewnia materiałowi dużą wytrzymałość i sztywność, dzięki czemu nadaje się do zastosowań wymagających dużej wytrzymałości mechanicznej.
Powłoka SiC jest stosowana w różnych zastosowaniach
Produkcja diod LED: Susceptor pokryty CVD SiC jest stosowany w produkcji różnych typów diod LED, w tym diod LED niebieskich i zielonych, diod LED UV i diod LED głębokiego UV, ze względu na wysoką przewodność cieplną i odporność chemiczną.
Komunikacja mobilna: Susceptor pokryty CVD SiC jest kluczową częścią HEMT niezbędną do zakończenia procesu epitaksjalnego GaN-na-SiC.
Obróbka półprzewodników: Susceptor pokryty CVD SiC jest stosowany w przemyśle półprzewodników do różnych zastosowań, w tym do przetwarzania płytek i wzrostu epitaksjalnego.
Elementy grafitowe pokryte SiC
Powłoka wykonana z grafitu z powłoką z węglika krzemu (SiC) jest nakładana metodą CVD na określone gatunki grafitu o dużej gęstości, dzięki czemu może pracować w piecu wysokotemperaturowym o temperaturze ponad 3000°C w atmosferze obojętnej i 2200°C w próżni .
Specjalne właściwości i niewielka masa materiału umożliwiają szybkie nagrzewanie, równomierny rozkład temperatury i wyjątkową precyzję sterowania.
Dane materiałowe powłoki Semicorex SiC
Typowe właściwości |
Jednostki |
Wartości |
Struktura |
|
Faza β FCC |
Orientacja |
Frakcja (%) |
Preferowane 111 |
Gęstość nasypowa |
g/cm3 |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Pojemność cieplna |
J kg-1 K-1 |
640 |
Rozszerzalność cieplna 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Moduł Younga |
Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃) |
430 |
Rozmiar ziarna |
µm |
2 ~ 10 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Felexuralna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Wnioski Susceptor pokryty CVD SiC jest materiałem kompozytowym łączącym w sobie właściwości susceptora i węglika krzemu. Materiał ten posiada unikalne właściwości, w tym odporność na wysoką temperaturę i chemikalia, doskonałą odporność na zużycie, wysoką przewodność cieplną oraz wysoką wytrzymałość i sztywność. Te właściwości sprawiają, że jest to atrakcyjny materiał do różnych zastosowań wysokotemperaturowych, w tym do obróbki półprzewodników, obróbki chemicznej, obróbki cieplnej, produkcji ogniw słonecznych i produkcji diod LED.
Możesz mieć pewność, że kupisz nośnik płytek półprzewodnikowych do sprzętu MOCVD z naszej fabryki. Półprzewodnikowe nośniki płytek są istotnym elementem sprzętu MOCVD. Służą do transportu i zabezpieczania płytek półprzewodnikowych w procesie produkcyjnym. Półprzewodnikowe nośniki płytek do sprzętu MOCVD są wykonane z materiałów o wysokiej czystości i zaprojektowane tak, aby zachować integralność płytek podczas przetwarzania.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSubstrat MOCVD z węglika krzemu Semicorex to najlepszy wybór dla producentów półprzewodników poszukujących wysokiej jakości nośnika, który może zapewnić doskonałą wydajność i trwałość. Zaawansowany materiał zapewnia równomierny profil termiczny i laminarny przepływ gazu, zapewniając wysokiej jakości płytki.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex MOCVD Wafer Carriers for Semiconductor Industry to najwyższej klasy nośnik przeznaczony do stosowania w przemyśle półprzewodników. Materiał o wysokiej czystości zapewnia równomierny profil termiczny i laminarny przepływ gazu, zapewniając wysokiej jakości płytki.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex SiC Coated Plate Carriers for MOCVD to wysokiej jakości nośnik przeznaczony do stosowania w procesie produkcji półprzewodników. Wysoka czystość, doskonała odporność na korozję, a nawet profil termiczny sprawiają, że jest to doskonały wybór dla osób poszukujących nośnika, który wytrzyma wymagania procesu produkcyjnego półprzewodników.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex to zaufana marka w branży półprzewodników, dostarczająca wysokiej jakości susceptor planetarny MOCVD do półprzewodników. Nasz produkt został zaprojektowany, aby zaspokoić specyficzne potrzeby producentów półprzewodników poszukujących nośnika, który może zapewnić doskonałą wydajność, stabilność i trwałość. Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszym produkcie i o tym, jak możemy Ci pomóc w zaspokojeniu Twoich potrzeb w zakresie produkcji półprzewodników.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePłyta uchwytu satelitarnego Semicorex MOCVD to wyjątkowy nośnik przeznaczony do stosowania w przemyśle półprzewodników. Wysoka czystość, doskonała odporność na korozję, a nawet profil termiczny sprawiają, że jest to doskonały wybór dla osób poszukujących nośnika, który wytrzyma wymagania procesu produkcyjnego półprzewodników. Zależy nam na dostarczaniu naszym klientom produktów wysokiej jakości, spełniających ich specyficzne wymagania. Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszej płycie uchwytu satelitarnego MOCVD i o tym, jak możemy Ci pomóc w zaspokojeniu Twoich potrzeb w zakresie produkcji półprzewodników.
Czytaj więcejWyślij zapytanie