Pierścienie ostrości z węglika krzemu

Pierścienie ostrości z węglika krzemusą powszechnie instalowane w komorze reakcyjnej sprzętu do trawienia, umieszczane wokół powierzchni nośnej płytki uchwytu elektrostatycznego. Ten układ instalacji może z powodzeniem wypełnić różnicę wysokości między krawędzią płytki a elektrodą, skupiając plazmę w komorze reakcyjnej na powierzchni płytki, aby uzyskać równomierne trawienie, a także zapobiegać dyfuzji plazmy na zewnątrz od krawędzi płytki, aby uniknąć problemu nadmiernego wytrawiania krawędzi płytki.

Wysokiej jakości komponenty trawiące mogą zapewnić stabilne środowisko pola elektrycznego dla procesu trawienia. Pierścienie ostrości Semicorex z węglika krzemu są produkowane z materiałów o wysokiej wydajnościmateriały z węglika krzemupoprzez chemiczne osadzanie z fazy gazowej. Nasze pierścienie ostrości umożliwiają regulację rozkładu pola elektrycznego wokół płytki, znacznie redukując odchyłki trawienia lub zjawiska wyładowań spowodowane nierównymi polami elektrycznymi.

Płytki półprzewodnikowe są łatwo podatne na zanieczyszczenia cząstkami stałymi, dlatego procesy trawienia plazmowego muszą być przeprowadzane w ultraczystych komorach reakcyjnych do trawienia jonowego. Jako główny element sprzętu do wytrawiania, pierścienie ogniskujące z węglika krzemu wchodzą w bezpośredni kontakt z krawędzią płytki podczas rzeczywistej pracy, co również jest wymagane w celu spełnienia bardzo wysokich standardów czystości. Pierścienie ogniskujące z węglika krzemu firmy Semicorex oferują zalety wysokiej czystości i niskiej zawartości zanieczyszczeń, co pozwala precyzyjnie spełnić rygorystyczne wymagania dotyczące czystości w procesach trawienia półprzewodników. To znacznie przyczynia się do zmniejszenia defektów płytek i poprawia wydajność produkcji płytek.

Podczas procesu trawienia plazmowego do komory reakcyjnej wprowadzane są gazy trawiące, takie jak fluor i tlen. Odporność na korozję chemiczną sprzętu do trawienia jest poważnie zagrożona długoterminową korozją powodowaną przez gazy procesowe. Dzięki doskonałej odporności na korozję plazmową węglik krzemu jest optymalnym materiałem do produkcji pierścieni ostrości. Obniżając ryzyko uszkodzenia elementów spowodowanego korozją i minimalizując potrzebę częstej wymiany i konserwacji, pierścienie ogniskujące z węglika krzemu mogą znacznie zwiększyć wydajność produkcji płytek półprzewodnikowych.