Semicorex Silicon Pedestal, często pomijany, ale niezwykle ważny element, odgrywa kluczową rolę w uzyskiwaniu precyzyjnych i powtarzalnych wyników w procesach dyfuzji i utleniania półprzewodników. Specjalizowana platforma, na której spoczywają łodzie krzemowe w piecach wysokotemperaturowych, oferuje unikalne zalety, które bezpośrednio przyczyniają się do zwiększonej równomierności temperatury, lepszej jakości płytek i ostatecznie doskonałej wydajności urządzeń półprzewodnikowych.**
1. Podstawa silikonowa Semicorex stabilizująca środowisko przetwarzania w celu uzyskania optymalnych wyników:
Tworzenie stabilnego fundamentu dla łodzi kryształowych: Silicon Cokół zapewnia solidną i stabilną termicznie platformę dla łodzi krzemowych w komorze pieca wysokotemperaturowego. Ta stabilność gwarantuje, że łodzie utrzymają swoją pozycję i orientację przez cały proces, zapobiegając niepożądanemu ruchowi lub przechylaniu, które mogłoby zakłócić dynamikę przepływu gazu i zagrozić równomierności temperatury.
Zwiększanie równomierności temperatury w komorze reakcyjnej:Skutecznie izolując łódkę krzemową od dna i ścian pieca, cokół krzemowy minimalizuje straty ciepła w wyniku przewodzenia i zapewnia bardziej równomierny rozkład temperatury w rurze reakcji termicznej. Ta ulepszona zdolność zarządzania temperaturą ma kluczowe znaczenie dla uzyskania spójnych i powtarzalnych profili dyfuzji lub utleniania na całej powierzchni płytki.
Zwiększanie efektywności izolacji w celu optymalizacji zużycia energii:Właściwe właściwości termoizolacyjne podstawy krzemowej przyczyniają się do bardziej energooszczędnego procesu poprzez minimalizację strat ciepła do otaczającego środowiska. Przekłada się to na szybsze cykle ogrzewania i chłodzenia, mniejsze zużycie energii i ostatecznie niższe całkowite koszty przetwarzania.
2. Synergia materiałów zapewniająca doskonałą jakość wafli:
Dopasowana rozszerzalność cieplna w celu zmniejszenia naprężenia płytki:Cokół krzemowy, wykonany z tego samego materiału krzemowego o wysokiej czystości, co same łódki i płytki, oferuje zdecydowaną przewagę nad alternatywnymi materiałami, takimi jak kwarc czy węglik krzemu. Ta synergia materiałów zapewnia, że cokół, łódka i płytki rozszerzają się i kurczą z niemal identyczną szybkością podczas cykli ogrzewania i chłodzenia, minimalizując ryzyko naprężeń termicznych, wyginania się płytek i defektów krystalograficznych, które mogą negatywnie wpływać na wydajność i wydajność urządzenia.
Minimalizowanie zanieczyszczeń i niedopasowań sieci:Zastosowanie krzemu o wysokiej czystości zarówno w cokole krzemowym, jak i w łodzi eliminuje ryzyko zanieczyszczenia różnymi materiałami, zapewniając nieskazitelne środowisko przetwarzania płytek. Ta kompatybilność materiałowa minimalizuje również ryzyko niedopasowania sieci na styku płytka-łódka, co dodatkowo przyczynia się do poprawy jakości kryształów i zmniejszenia gęstości defektów.