Płetwy z węglika krzemu

Półtwardy semicorexżeberka z węglika krzemusą zwykle instalowane jako elementy izolacji termicznej wewnątrz pionowych rur pieca urządzeń do obróbki cieplnej półprzewodników, takich jak piece do wyżarzania RTP i piece dyfuzyjne. Lamelki z węglika krzemu Semicorex mogą skutecznie regulować rozkład temperatury w piecach wysokotemperaturowych i minimalizować uszkodzenia cieplne części uszczelniających drzwi procesowych spowodowane wysokimi temperaturami. W warunkach utleniania na mokro żebra z węglika krzemu Semicorex mogą być stosowane w celu skutecznego zapobiegania negatywnemu wpływowi na wyniki procesu i urządzenia półprzewodnikowe spowodowanemu kondensacją pary wodnej w stosunkowo niskich temperaturach procesu.

Zalety lamelek z węglika krzemu Semicorex

1. Doskonała odporność na zużycie

CVD SiC charakteryzuje się polikrystaliczną, sześcienną strukturą kryształów, o wyjątkowej twardości, ustępującej jedynie diamentowi. Tej właściwości przypisuje się doskonałą odporność na zużycie żeberek z węglika krzemu Semicorex, dzięki czemu są one odporne na ścieranie podczas obsługi i wymiany.

2. Doskonała zdolność zarządzania ciepłem

CVD SiC zapewnia doskonałą odporność termiczną i stabilność w wysokich temperaturach, który nie topi się ani nie mięknie w temperaturach do około 2000°C i zachowuje swoją stabilność przed sublimacją w ultrawysokiej temperaturze. Dzięki tym doskonałym właściwościom termicznym żebra z węglika krzemu Semicorex doskonale nadają się do trudnych warunków obróbki cieplnej półprzewodników.

3. Bardzo wysoka czystość

CVD-SiCjest wytwarzany bez dodatków spiekających w procesie osadzania. W porównaniu do konwencjonalnego węglika krzemu wiązanego reakcyjnie charakteryzuje się on znacznie wyższą czystością, sięgającą ponad 99,9995%. Skutecznie zapobiega to zanieczyszczeniu żeberek z węglika krzemu Semicorex zanieczyszczeniami metalowymi spowodowanymi wysokimi temperaturami w środowiskach procesowych, doskonale spełniając wymagania czystości w zaawansowanej produkcji półprzewodników.

4. Niezawodna odporność na korozję

Żebra Semicorex z węglika krzemu są odporne na silnie utleniające i silnie kwaśne gazy procesowe stosowane w procesach obróbki cieplnej półprzewodników, dzięki wyjątkowej obojętności chemicznej CVD SiC w wysokich temperaturach. Ta niezawodna odporność na korozję skutecznie wydłuża ich żywotność, obniżając koszty wymiany komponentów.

5. Precyzyjna dokładność obróbki

Aby zapewnić kompatybilność z różnymi rurami pieca, Semicorex może dostosować żebra z pełnego węglika krzemu zgodnie z wymaganiami klienta dotyczącymi średnicy, grubości, rozmiaru otworu, płaskości i tolerancji wymiarowych. Ta wysoka precyzja obróbki gwarantuje stabilną pracę żeberek w sprzęcie i pomaga zoptymalizować ogólną wydajność zastosowań w obróbce cieplnej półprzewodników.