Pierścień ogniskujący z węglika krzemu

Pierścień ogniskujący z węglika krzemu Semicorex to kluczowy element w produkcji półprzewodników, strategicznie umieszczony na zewnątrz płytki, aby zapewnić bezpośredni kontakt. Wykorzystując przyłożone napięcie, pierścień ten skupia przepływającą przez niego plazmę, zwiększając w ten sposób jednorodność procesu na płytce. Zbudowany wyłącznie z węglika krzemu metodą chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD SiC), ten pierścień ostrości ucieleśnia wyjątkowe właściwości wymagane w przemyśle półprzewodników. W firmie Semicorex zajmujemy się produkcją i dostarczaniem wysokiej jakości pierścienia ogniskującego z węglika krzemu, który łączy jakość z opłacalnością.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

W produkcji półprzewodników pierścień ogniskujący z węglika krzemu Semicorex pełni kluczową rolę, pełniąc funkcję osłony, chroniąc integralność płytki podczas procesu trawienia. Jego skrupulatnie zaprojektowana konstrukcja zapewnia precyzyjne i jednolite trawienie, ułatwiając w ten sposób produkcję bardzo skomplikowanych elementów półprzewodnikowych, które charakteryzują się doskonałą wydajnością i niezawodnością.

Węglik krzemu jest materiałem wybieranym na pierścień ogniskowania ze względu na jego doskonałą odporność na korozję plazmową pod wpływem plazmy w próżniowej komorze reakcyjnej. Pierścień ogniskujący z węglika krzemu przewyższa tradycyjny krzem pod kilkoma względami, w tym:

(1) Wysoka gęstość minimalizująca szybkość trawienia.

(2) Doskonała przerwa wzbroniona i doskonałe właściwości izolacyjne.

(3) Wyjątkowa przewodność cieplna, niski współczynnik rozszerzalności cieplnej i odporność na szok termiczny.

(4) Wysoka elastyczność połączona z doskonałą odpornością na uderzenia mechaniczne.

(5) Znakomita twardość, odporność na zużycie i odporność na korozję.

Przewodność i odporność węglika krzemu na trawienie jonowe są podobne do krzemu, co sprawia, że pierścień ogniskujący z węglika krzemu jest idealnym materiałem do tego zastosowania.

Pierścień ogniskujący Semicorex z węglika krzemu to najnowocześniejsze rozwiązanie w dziedzinie produkcji półprzewodników. Wykorzystuje unikalne właściwości CVD SiC, aby ułatwić niezawodne i wydajne procesy trawienia, znacząco przyczyniając się do rozwoju technologii półprzewodników.