Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).
Węglik tantalu (TaC) to związek składający się z tantalu i węgla. Ma metaliczną przewodność elektryczną i wyjątkowo wysoką temperaturę topnienia, co czyni go ogniotrwałym materiałem ceramicznym znanym ze swojej wytrzymałości, twardości oraz odporności na ciepło i zużycie. Temperatura topnienia węglików tantalu osiąga szczyt przy około 3880°C, w zależności od czystości i ma jedną z najwyższych temperatur topnienia wśród związków binarnych. To sprawia, że jest to atrakcyjna alternatywa, gdy wymagania dotyczące wyższych temperatur przekraczają możliwości wydajności stosowane w procesach epitaksjalnych złożonych półprzewodników, takich jak MOCVD i LPE.
Dane materiałowe powłoki Semicorex TaC
Projektowanie |
Parametry |
Gęstość |
14,3 (gm/cm3) |
Emisyjność |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Twardość (HK) |
2000 |
Rezystancja (om-cm) |
1×10-5 |
Stabilność termiczna |
<2500 ℃ |
Zmiana wymiaru grafitu |
-10~-20um (wartość referencyjna) |
Grubość powłoki |
Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |
|
|
Powyższe wartości są typowymi wartościami |
|
Uchwyt Semicorex Tantalum Carbide Chuck to zaawansowany komponent stosowany w sprzęcie do produkcji półprzewodników, znany ze swoich wyjątkowych właściwości termicznych i mechanicznych. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach*.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień powlekany Semicorex TaC jest kluczowym elementem spełniającym te wysokie wymagania. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach*.
Czytaj więcejWyślij zapytanieGłowica prysznicowa pokryta Semicorex TaC stanowi integralną część procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej, zapewniając niezrównaną wydajność i trwałość. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach*.
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyt pokryty Semicorex TaC stanowi znaczący postęp w dziedzinie produkcji półprzewodników. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach*.
Czytaj więcejWyślij zapytanieGrafit porowaty Semicorex z powłoką TaC to specjalistyczny materiał zaprojektowany, aby sprostać krytycznym wyzwaniom związanym ze wzrostem kryształów węglika krzemu (SiC). Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach*.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePorowaty grafit pokryty węglikiem tantalu Semicorex to najnowsza innowacja w technologii wzrostu kryształów węglika krzemu (SiC). Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach*.
Czytaj więcejWyślij zapytanie