Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).
Węglik tantalu (TaC) to związek składający się z tantalu i węgla. Ma metaliczną przewodność elektryczną i wyjątkowo wysoką temperaturę topnienia, co czyni go ogniotrwałym materiałem ceramicznym znanym ze swojej wytrzymałości, twardości oraz odporności na ciepło i zużycie. Temperatura topnienia węglików tantalu osiąga szczyt przy około 3880°C, w zależności od czystości i ma jedną z najwyższych temperatur topnienia wśród związków binarnych. To sprawia, że jest to atrakcyjna alternatywa, gdy wymagania dotyczące wyższych temperatur przekraczają możliwości wydajności stosowane w procesach epitaksjalnych złożonych półprzewodników, takich jak MOCVD i LPE.
Dane materiałowe powłoki Semicorex TaC
Projektowanie |
Parametry |
Gęstość |
14,3 (gm/cm3) |
Emisyjność |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Twardość (HK) |
2000 |
Rezystancja (om-cm) |
1×10-5 |
Stabilność termiczna |
<2500 ℃ |
Zmiana wymiaru grafitu |
-10~-20um (wartość referencyjna) |
Grubość powłoki |
Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |
|
|
Powyższe wartości są typowymi wartościami |
|
Pierścień prowadzący powłokę Semicorex TaC pełni kluczową rolę w sprzęcie do chemicznego osadzania metaloorganicznego z fazy gazowej (MOCVD), zapewniając precyzyjne i stabilne dostarczanie gazów prekursorowych podczas procesu wzrostu epitaksjalnego. Pierścień prowadzący powłoki TaC ma szereg właściwości, dzięki którym idealnie sprawdza się w ekstremalnych warunkach panujących w komorze reaktora MOCVD.**
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex TaC Coating Wafer Chuck to szczyt innowacji w procesie epitaksji półprzewodników, będącym krytycznym etapem produkcji półprzewodników. Dzięki naszemu zaangażowaniu w dostarczanie produktów najwyższej jakości po konkurencyjnych cenach, jesteśmy gotowi być Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieSusceptor Semicorex MOCVD z powłoką TaC to najnowocześniejszy komponent, starannie wykonany w celu uzyskania optymalnej wydajności w procesach epitaksji półprzewodników w systemach MOCVD. Semicorex jest niezachwiany w swoim zaangażowaniu w dostarczanie najwyższej jakości produktów po bardzo konkurencyjnych cenach. Chętnie nawiążemy z Tobą trwałą współpracę w Chinach.*
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień powlekany Semicorex CVD TaC króluje jako kluczowy element w przetwarzaniu półprzewodników, symbolizując zenit nowoczesnej inżynierii materiałowej. Pierścień ten, stworzony do stosowania w najbardziej rygorystycznych środowiskach, w których króluje precyzja i niezawodność, stanowi połączenie najnowocześniejszych technik powlekania z nauką o odpornych materiałach. Semicorex niezmiennie dostarcza produkty najwyższej klasy po konkurencyjnych cenach i nie możemy się doczekać nawiązania długotrwałej współpracy z Tobą w Chinach.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieSusceptor planetarny Semicorex TaC to wysoce wyspecjalizowany komponent przeznaczony do stosowania w procesach epitaksjalnych w produkcji półprzewodników. Semicorex specjalizuje się w dostarczaniu produktów najwyższej jakości po konkurencyjnych cenach. Chętnie nawiążemy z Państwem długoterminową współpracę w Chinach.*
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień prowadzący z węglika tantalu Semicorex to zaawansowany komponent zaprojektowany specjalnie dla przemysłu półprzewodników, odgrywający kluczową rolę we wzroście kryształów węglika krzemu (SiC). Ten produkt został zaprojektowany tak, aby spełniać rygorystyczne wymagania środowisk o wysokiej temperaturze i wysokim naprężeniu, właściwych procesom wzrostu kryształów półprzewodników. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach*.
Czytaj więcejWyślij zapytanie