Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).
Węglik tantalu (TaC) to związek składający się z tantalu i węgla. Ma metaliczną przewodność elektryczną i wyjątkowo wysoką temperaturę topnienia, co czyni go ogniotrwałym materiałem ceramicznym znanym ze swojej wytrzymałości, twardości oraz odporności na ciepło i zużycie. Temperatura topnienia węglików tantalu osiąga szczyt przy około 3880°C, w zależności od czystości i ma jedną z najwyższych temperatur topnienia wśród związków binarnych. To sprawia, że jest to atrakcyjna alternatywa, gdy wymagania dotyczące wyższych temperatur przekraczają możliwości wydajności stosowane w procesach epitaksjalnych złożonych półprzewodników, takich jak MOCVD i LPE.
Dane materiałowe powłoki Semicorex TaC
Projektowanie |
Parametry |
Gęstość |
14,3 (gm/cm3) |
Emisyjność |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Twardość (HK) |
2000 |
Rezystancja (om-cm) |
1×10-5 |
Stabilność termiczna |
<2500 ℃ |
Zmiana wymiaru grafitu |
-10~-20um (wartość referencyjna) |
Grubość powłoki |
Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |
|
|
Powyższe wartości są typowymi wartościami |
|
Semicorex TaC Coating Jig to kluczowy element procesu produkcji półprzewodników, wykonany z niezwykłą starannością z grafitu i wzmocniony sprężystą warstwą powłoki z węglika tantalu. Ten kluczowy element wyposażenia stanowi połączenie najnowocześniejszej inżynierii materiałowej i inżynierii precyzyjnej, zaprojektowanej tak, aby spełniać rygorystyczne wymagania operacyjne i rygorystyczne standardy panujące w produkcji półprzewodników. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex TaC Coating Susceptor to szczytowe osiągnięcie w inżynierii materiałowej, starannie wykonany z wysokiej jakości grafitu i wzmocniony powłoką z węglika tantalu. Zaprojektowany głównie do stosowania w procesach wzrostu kryształów SiC i procesach epitaksjalnych SiC, ten innowacyjny komponent jest wzorem trwałości i wydajności w ekstremalnych środowiskach termicznych i chemicznych. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień pokryty węglikiem tantalu Semicorex jest kluczowym elementem stosowanym w obróbce półprzewodników. Został zaprojektowany ze specjalistyczną powłoką, która spełnia wiele funkcji w celu zwiększenia wydajności i trwałości elementów grafitowych w maszynach półprzewodnikowych. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieCzęści grafitowe powlekane Semicorex TaC to precyzyjnie wykonane komponenty, które zostały specjalnie zaprojektowane, aby wytrzymać wymagające środowisko przetwarzania półprzewodników. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex TaC Coating Graphite Cover stanowi najnowocześniejsze rozwiązanie w dziedzinie zastosowań termicznych do wzrostu kryształów i procesów epitaksjalnych (epi). Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień powłokowy Semicorex TaC jest kluczowym elementem w dziedzinie wzrostu monokryształów w polu termicznym. Ten wyspecjalizowany pierścień prowadzący, wykonany z precyzją i innowacyjnością, odgrywa kluczową rolę w skomplikowanym procesie produkcji materiału monokrystalicznego. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie