Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).
Węglik tantalu (TaC) to związek składający się z tantalu i węgla. Ma metaliczną przewodność elektryczną i wyjątkowo wysoką temperaturę topnienia, co czyni go ogniotrwałym materiałem ceramicznym znanym ze swojej wytrzymałości, twardości oraz odporności na ciepło i zużycie. Temperatura topnienia węglików tantalu osiąga szczyt przy około 3880°C, w zależności od czystości i ma jedną z najwyższych temperatur topnienia wśród związków binarnych. To sprawia, że jest to atrakcyjna alternatywa, gdy wymagania dotyczące wyższych temperatur przekraczają możliwości wydajności stosowane w procesach epitaksjalnych złożonych półprzewodników, takich jak MOCVD i LPE.
Dane materiałowe powłoki Semicorex TaC
Projektowanie |
Parametry |
Gęstość |
14,3 (gm/cm3) |
Emisyjność |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Twardość (HK) |
2000 |
Rezystancja (om-cm) |
1×10-5 |
Stabilność termiczna |
<2500 ℃ |
Zmiana wymiaru grafitu |
-10~-20um (wartość referencyjna) |
Grubość powłoki |
Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |
|
|
Powyższe wartości są typowymi wartościami |
|
Susceptor waflowy powlekany Semicorex TaC to kluczowy komponent stosowany w piecach do chemicznego osadzania z fazy gazowej metali organicznych (MOCVD) do epitaksjalnego przetwarzania półprzewodników (epi). Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePłytka powlekana węglikiem tantalu Semicorex TaC to najnowocześniejsze rozwiązanie zaprojektowane z myślą o spełnieniu rygorystycznych wymagań produkcji półprzewodników, szczególnie na etapie przetwarzania epitaksjalnego (epi). Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień prowadzący z powłoką Semicorex TaC, szczyt innowacji w piecach do monokrystalicznego wzrostu z SiC (węglika krzemu). Ten pierścień prowadzący, starannie zaprojektowany, aby sprostać rygorystycznym wymaganiom przemysłu półprzewodników, obiecuje na nowo zdefiniować procesy wzrostu kryształów z niezrównaną precyzją i niezawodnością.
Czytaj więcejWyślij zapytanieNajnowocześniejszy grafitowy susceptor powlekany TaC firmy Semicorex, rewolucyjny komponent zaprojektowany, aby wznieść proces epitaksjalny płytek na nowy poziom wydajności i precyzji. Wykonany w oparciu o niezrównaną wiedzę specjalistyczną i wykorzystujący najnowocześniejszą technologię, grafitowy susceptor powlekany Semicorex TaC został zaprojektowany tak, aby spełniać rygorystyczne wymagania produkcji półprzewodników.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex zapewnia wysokiej jakości części grafitowe pokryte węglikiem tantalu z indywidualną obsługą. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex zapewnia susceptor grafitowy pokryty węglikiem tantalu z niestandardową usługą. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie