Susceptory waflowe grafitowe 1x2".

Podczas wytwarzania płytek półprzewodnikowych wymagana jest hodacja warstwy epitaksjalnej na podłożu płytki w celu późniejszego wytwarzania urządzeń półprzewodnikowych. Ponieważ proces wzrostu epitaksjalnego jest bardzo wrażliwy na wahania temperatury i zanieczyszczenia, wybór jest niezawodnywsporniki waflowesą niezwykle ważne. Ponieważ są to niezbędne części nośne w procesie epitaksjalnym płytek, precyzja obróbki, zdolność zarządzania temperaturą i odporność na zanieczyszczenia są kluczowymi czynnikami zapewniającymi wysokiej jakości wzrost epitaksjalny płytek.

Funkcje grafitowych susceptorów waflowych Semicorex 1x2".

Wykonane z ultradrobnoziarnistego grafitu o wysokiej czystości jako matrycy z gęstą powłoką węglika krzemu w specjalnych procesach, grafitowe susceptory waflowe Semicorex 1x2" spełniają następujące funkcje:

1. Bezpieczne i nieaktualne trzymanie

Semicorex 1x2"grafitSusceptory waflowe charakteryzują się precyzyjną obróbką i obróbką, zapewniając wyjątkową płaskość powierzchni i dokładność wymiarową. Zapewnia to ich mocne zamocowanie w odpowiedniej pozycji i zapewnia stabilną, płaską platformę podporową dla epitaksjalnego wzrostu płytek.

2. Precyzyjny równomierny rozkład ciepła

Dzięki doskonałej przewodności cieplnej materiałów grafitowych i SiC, grafitowe susceptory waflowe Semicorex 1x2" zapewniają szybką i równomierną dystrybucję ciepła w całej substancji półprzewodnikowej. Minimalizując gradienty temperatury, grafitowe susceptory waflowe Semicorex 1x2" mogą skutecznie zapobiegać problemom, takim jak nierówna jakość epitaksjalna i koncentracja naprężeń.

Zalety powłoki z węglika krzemu Semicorex

1. Doskonała odporność na korozję

Pokryte gęstą powłoką z węglika krzemu, grafitowe wsporniki waflowe Semicorex 1x2" są skutecznie odporne na większość substancji chemicznych, dzięki czemu nadają się do zastosowań w wysoce korozyjnych warunkach pracy, gdzie materiał jest często narażony na działanie żrących gazów i oparów chemicznych.

2. Niskie wydzielanie cząstek

Półcorexpowłoka z węglika krzemuma wysoką siłę wiązania z matrycą grafitową, co pozwala w znacznym stopniu uniknąć ryzyka zanieczyszczenia podłoża w wyniku odrywania się powłoki na skutek korozji i opadu cząstek spowodowanego środowiskami o wysokiej korozyjności.

3. Niezawodna żywotność

Chociaż osnowy grafitowe wykazują doskonałą stabilność termiczną i wytrzymałość mechaniczną, są podatne na korozję i proszkowanie w warunkach prowadzenia procesu epitaksjalnego, co znacznie skraca żywotność niepowlekanych osnów grafitowych. Całkowicie otaczając matryce grafitowe gęstymi powłokami SiC, nasze grafitowe susceptory waflowe 1×2” osiągają doskonałą i niezawodną trwałość.

Dane materiałowe powłoki Semicorex SiC