8 -calowy pierścień Epi

Pierścień górny EPI Semicorex 8 -calowy jest wyspecjalizowanym składnikiem systemów osadzania epitaksjalnego (EPI) zapewniającego wysoką wydajność jako górny pierścień pokrywy w komorze reakcyjnej. Koncentrując się na integralności strukturalnej i stabilności termicznej podczas wzrostu epitaksjalnego wafle półprzewodników, górny pierścień EPI jest wykonany z grafitu o wysokiej czystości i pokryty węglikiem krzemu (SIC) w celu wytrzymania temperatury i chemicznie reaktywnych środowisk produkcji półprzewodników.

W reaktorach epitaksjalnych górny pierścień pomaga zachować środowisko opłat i odgrywa ważną rolę w jednolitości temperatury i przepływu gazu podczas osadzania się w ramach składu podatnika. Powłoka SIC na podłożu grafitowym zapewnia górnego pierścienia EPI stabilność termiczną i środowisko obojętne wymagane do ochrony rdzenia grafitowego z powodu narażenia na gazowe procesy podczas wykonywania górnego pierścienia EPI (wodór, silane, klorosilany itp.). Twardość i przewodność warstwy SIC zwiększa wydajność górnego pierścienia EPI, zapobiegając degradacji i umożliwiając bardziej stabilne warstwy w całym cyklu produkcyjnym.

Zobowiązując się do dokładności wymiarowej, spójności powłoki i powtarzalności, 8 -calowy górny pierścień EPI jest wytwarzany z precyzyjną inżynierią. Podłoże grafitowe jest obrobione do ciasnych tolerancji i oczyszczane termicznie w celu segregowania zanieczyszczeń, zapewniając czyste podłoże o doskonałej czystości i wytrzymałości. Powłoka SIC jest stosowana przez chemiczne odkładanie pary (CVD), tworząc gęstą, spójną i silnie związaną warstwę ochronną. Proces ten minimalizuje wytwarzanie cząstek i pozwala powłokowi utrzymać integralność powierzchni podczas przedłużonego użytkowania.

Producenci półprzewodników polegają na górnym pierścieniu EPI, aby utrzymać parametry komory krytycznej i obsługiwać wafle wolne od wad podczas produkcji. Konfiguracja jest przeznaczona do użytku z wiodącymi 8-calowymi systemami przetwarzania opłat OEM. Dostępne są niestandardowe opcje grubości, wykończenia powierzchni i rowkowanych konstrukcji w celu lepszego zarządzania termicznego, a nawet dystrybucji gazu.

Zgodność właściwości grafitu powlekanego SIC dla tej aplikacji wymaga kombinacji najlepszych właściwości z obu materiałów; Grafit jest bardzo mechaniczny i ma odporność na wstrząsy termiczne w połączeniu z węglikiem krzemu, który jest twardszy, odporny na korozję i ma dłuższą żywotność. Ta kombinacja ostatecznie zapewnia górny pierścień EPI, który jest niezawodny w wysokiej temperaturze, i gwarantuje czyste i stabilne środowisko przetwarzania, które zmniejsza przedziały konserwacyjne i zapewnia ogólny czas pracy urządzenia.

Komponenty grafitowe odgrywają niezbędną i kluczową rolę w produkcji półprzewodników. Jakość materiału grafitowego znacząco wpływa na jakość gotowego produktu. Nasza spójność partii grafitowej i jednorodność materiału są kontrolowane i gwarantowane przez cały proces produkcji.

1. Produkcja z partii, przy użyciu małego pieca karbonizacji o pojemności zaledwie 50 metrów sześciennych.

2. Każdy kawałek materiału jest monitorowany i śledzony.

3. Monitorowanie temperatury w wielu punktach w piecu zapewnia minimalne różnice w temperaturze.

4. Monitorowanie temperatury w wielu punktach materiału zapewnia minimalne różnice w temperaturze.

8-calowy górny pierścień EPI według półkolistości oferuje wyjątkową wydajność, konsystencję partii do partii i sprawdzoną niezawodność w najtrudniejszych półprzewodnikach krzemowych, węgliku krzemu lub innych złożonych procesach epitaxy półprzewodników. Na każdym etapie produkcyjnym produkujemy produkty z kontrolą jakości, co oznacza, że każdy produkt zakupiony dla przemysłu półprzewodnikowego przekracza specyfikacje jakości.

Wybierz 8-calowy górny pierścień EPI Semicorex do aplikacji epitaxy, aby skorzystać z możliwości oferowanych za pośrednictwem precyzyjnej inżynierii, doskonałych materiałów i dostosowywania specyficznych dla aplikacji w celu poprawy plonów i wydajności urządzenia.