8-calowe pierścienie opłatek do wafla są zaprojektowane tak, aby zapewnić precyzyjne utrwalenie opłat i wyjątkową wydajność w agresywnych środowiskach termicznych i chemicznych. SemiCorex zapewnia inżynierię specyficzną dla aplikacji, ścisłą kontrolę wymiarów i spójną jakość powlekania SIC w celu zaspokojenia rygorystycznych wymagań zaawansowanego przetwarzania półprzewodnikowego.*
8-calowe pierścienie waflowerowe półcorowe są najnowocześniejszym sprzętem do przetwarzania półprzewodników przeznaczonych do bezpiecznego zabezpieczenia i wspierania krzemowych płytek poprzez ważne procesy termiczne, trawienia i osadzania. Skonstruowane z wysokiej jakości grafitu z gęstymPowłoka węgliku krzemu (sic)Dla dodatkowej wytrzymałości pierścień uchwytu wafla daje doskonałą stabilność termiczną, odporność chemiczną i wytrzymałość mechaniczną, czyniąc go idealnym do stosowania w środowiskach o wysokiej temperaturze i żrących, takich jak CVD (osadzanie się pary chemicznej), PECVD i systemy epitaxy.
Kluczowe funkcje:
Kompozycja materiałowa:
Materiał podłoża jestgrafit o wysokiej czystości, który jest wybrany do wysokiej przewodności cieplnej i jednorodności strukturalnej. Wysoka gęstość i jednolitapowłoka filmowa krzemowa (sic)jest nakładany na powierzchnię, wykazując wysoką odporność na utlenianie i atak chemiczny nawet w podwyższonych temperaturach przekraczających 1000 ° C. Mieszanina zawiera okres trwałości o długim czasie trwania i minimalne ryzyko zanieczyszczenia waflów.
Bezpieczne pozycjonowanie opłat
Zaprojektowany szczególnie w celu utrzymania 8-calowych (200 mm) waflów, pierścień opłatek ma precyzyjne tolerancje i optymalnie zaprojektowaną geometrię wewnętrzną, aby bezpiecznie chwycić płytki. Pierścień pozostaje stabilny w pozycji podczas cyklu termicznego i przepływu gazu, minimalizując mikro-ruch, który może prowadzić do tworzenia cząstek lub pęknięcia opłat.
Jednopolność termiczna:
Warunkowa przewodność cieplna podłoża grafitowego i stabilność powłoki SIC zapewniają stały przenoszenie ciepła na powierzchni opłat. Powoduje to spójne wyniki procesu, zmniejszone naprężenie termiczne i lepszą wydajność urządzenia.
Odporność na chemiczną i plazmową:
Powierzchnia SIC chroni rdzeń grafitowy przed trudnymi plazami procesowymi i gazami, oferując odporność na powtarzające się cykle procesowe. Bez powodu chemicznej jest szczególnie korzystna w korozyjnym środowisku gazowym zawierającego halogenę lub reaktywne.
Dostępne dostosowywanie:
8-calowe pierścienie wafelisterów można zaprojektować na zamówienie w celu spełnienia określonych wymagań dotyczących sprzętu lub procesu, tj. Wariacji w projektowaniu wsparcia krawędzi, lokalizacji gniazd i konfiguracji montażowej. Nasi projektanci współpracują z OEM i FAB, aby zapewnić najwyższą możliwą wydajność dla każdego użycia.
Zastosowania:
Każde 8-calowe pierścienie wafelistów ulegają rygorystycznej kontroli, takiej jak weryfikacja dokładności wymiarów, test adhezji powłoki i kwalifikacje cykliczne termiczne. Nasza zaawansowana technologia produkcyjna zapewnia jednolitą grubość powłoki SIC i najlepsze wykończenie powierzchni, aby spełnić wysokie wymagania branży półprzewodników.
8-calowe pierścienie waflowerowe półkorowe (grafit powlekany SIC) są niezbędnym sprzętem do produkcji półprzewodników nowej generacji, zapewniając mechaniczną precyzję, trwałość materiału i stabilność chemiczną. Od aktualizacji sprzętu procesowego po budowę platform opłat nowej generacji, produkt ten oferuje niezawodność i wydajność potrzebną do umożliwienia dzisiejszych wymagających środowisk produkcyjnych.