ALN grzejniki

Grzeźby Semicorex ALN dla półprzewodnika to urządzenie używane do podgrzewania materiałów półprzewodnikowych. Jest głównie zAluminiowy ceramika azotkuMateriał ma doskonałą przewodność cieplną i oporność w wysokiej temperaturze i może stabilnie działać w wysokich temperaturach. Grzeźnik zwykle używa drutu oporowego jako elementu grzewczego. Energia przewodu rezystancyjnego do ogrzewania ciepło przenosi się na powierzchnię grzejnika, aby osiągnąć ogrzewanie materiału półprzewodnikowego. Grzeźby ALN dla półprzewodników odgrywają ważną rolę w procesie produkcji półprzewodników i mogą być stosowane w procesach takich jak wzrost kryształów, wyżarzanie i pieczenie.

W procesie front-end (FEOL) produkcji półprzewodników należy wykonywać różne zabiegi procesowe na waflu, zwłaszcza ogrzewanie opłatek do określonej temperatury, i istnieją ścisłe wymagania, ponieważ jednolitość temperatury ma bardzo ważny wpływ na wydajność produktu; Jednocześnie sprzęt półprzewodnikowy musi również działać w środowisku, w którym istnieje próżnia, plazma i gazy chemiczne, co wymaga użycia ceramicznych grzejników (grzejnik ceramiczny). Grzeźby ceramiczne są ważnymi elementami sprzętu do odkładania cienkiego folii półprzewodników. Są one używane w komorze procesowej i bezpośrednio kontaktują się z opłatą w celu przeniesienia i umożliwienia opłatki w celu uzyskania stabilnej i jednolitej temperatury procesu oraz reakcji i generowania cienkich warstw na powierzchni opłatek z dużą precyzją.

Sprzęt do osadzania się cienkiego warstwy ceramiki zwykle wykorzystuje materiały ceramiczne na podstawieAluminiowy azotek (ALN)Z powodu zaangażowanych temperatur. Aluminiowy azotek ma izolację elektryczną i doskonałą przewodność cieplną; Ponadto jego współczynnik rozszerzalności cieplnej jest zbliżony do krzemowego i ma doskonałą odporność na plazmę, co czyni go bardzo odpowiednim do użytku jako komponent urządzenia półprzewodnikowego.

Grzeźby ALN obejmują ceramiczną podstawę, która przenosi opłatę, oraz cylindryczny korpus wsparcia, który wspiera ją z tyłu. Wewnątrz lub na powierzchni podstawy ceramicznej, oprócz elementu oporowego (warstwy grzewczej) do ogrzewania, istnieje również elektroda RF (warstwa RF). Aby osiągnąć szybkie ogrzewanie i chłodzenie, grubość podstawy ceramicznej powinna być cienka, ale zbyt cienka również zmniejszy sztywność. Korpora podtrzymywania grzejników ALN jest na ogół wykonana z materiału o współczynniku rozszerzalności cieplnej podobnym do podstawy, więc korpus wsporniczy jest często wykonany z azotku aluminiowego. Grzeźby ALN przyjmują unikalną strukturę złącza wału (SAFT), aby chronić zaciski i przewody przed skutkami osocza i korozyjnych gazów chemicznych. W ciele podporowym znajduje się wlot wlotowy i rura gniazdka wylotowego, aby zapewnić jednolitą temperaturę grzejnika. Podstawa i korpus podtrzymujący są chemicznie związane z warstwą wiązania.

Element ogrzewania oporu jest zakopany w podstawie grzejnej. Powstaje przez druk ekranowy z pastą przewodzącą (wolfram, molibden lub tantalum), tworząc spiralny lub koncentryczny wzór obwodu koła. Oczywiście można również zastosować metalowy drut, metalową siatkę, folię metalową itp. Podczas stosowania metody drukowania ekranu przygotowywane są dwie ceramiczne płyty o tym samym kształcie, a na powierzchnię jednego z nich nakłada się pastę przewodzącą. Następnie jest spiekany, aby utworzyć element ogrzewania opornego, a druga płytka ceramiczna pokrywa się z rezystancyjnym elementem grzewczym, aby wykonać element rezystora zakopany w podstawie.

Głównymi czynnikami wpływającymi na przewodność cieplną ceramiki azotku glinu są gęstość sieci, zawartość tlenu, czystość proszku, mikrostruktury itp., Które wpłyną na przewodność cieplną ceramiki azotku glinu.