Aluminiowe grzejniki azotku

Grzeźdy azotku aluminiowego półkolorowego to najnowocześniejsze ceramiczne elementy grzewcze zaprojektowane do zastosowań, które wymagają wysokiej przewodności cieplnej, izolacji elektrycznej i wyjątkowej trwałości. Zaprojektowane z ceramiki azotku aluminium, grzejniki te zapewniają szybkie i jednolite ogrzewanie, co czyni je idealnymi dla bardzo precyzyjnych środowisk, takich jak przetwarzanie półprzewodników, diagnostyka medyczna i zaawansowane oprzyrządowanie analityczne.

Aluminiowe grzejniki azotku są kluczowymi elementami w sprzęcie do osadzania cienkiego warstwy półprzewodnikowej. Są one bezpośrednio stosowane do komory procesowej i mają bezpośredni kontakt z opłatą. Nie tylko noszą płytki, ale także zapewniają, że wafel uzyska 

stabilna i jednolita temperatura procesu. Ta funkcja jest niezbędna do reakcji o wysokiej precyzyjnej reakcji na powierzchni opłat i generowania jednolitych cienkich warstw.

Zazwyczaj aluminiowe grzejniki azotku zawierają ceramiczny podłoże z powierzchnią obciążenia opłat i cylindryczny korpus wsporniczy, który podtrzymuje go z tyłu. Oprócz rezystancyjnego obwodu ogrzewania do ogrzewania, elektroda RF oraz elektrostatyczna elektroda chucka i inne przewody są również podawane wewnątrz lub na powierzchni ceramicznego podłoża.

Sprzęt do osadzania cienkiego zwykle wykorzystuje materiały ceramiczne na podstawieAluminiowy azotek (ALN)Ponieważ obejmuje środowisko wysokotemperaturowe. Powodem, dla którego grzejniki azotku aluminium są preferowane w produkcji półprzewodników, wynika głównie z ich unikalnych właściwości fizycznych i chemicznych. Aluminiowy azotek ma nie tylko wysoką przewodność cieplną i może osiągnąć szybkie ogrzewanie i chłodzenie w krótkim czasie, ale ma również dobrą izolację elektryczną i wytrzymałość mechaniczną, zapewniając stabilność i niezawodność grzejnika. Ponadto współczynnik rozszerzania cieplnego azotku aluminium jest podobny do krzemowego, co pomaga zmniejszyć wpływ naprężenia termicznego na płytki i poprawić wydajność procesu.

Ogólnie rzecz biorącceramiczne grzejnikisą używane głównie w cienkim sprzęcie do osadzania się. Ponieważ obejmuje procesy o wysokiej temperaturze, zastosowanym materiałem ceramicznym jest głównie azotek aluminiowy; Elektrostatyczne uchwyty są stosowane głównie w urządzeniach do trawienia, a zastosowany materiał ceramiczny jest głównie tlenku aluminium. Wraz z opracowaniem technologii półprzewodnikowej zachodzi na siebie grzejniki ceramiczne i elektrostatyczne. Na przykład ceramiczne grzejniki stosowane w urządzeniach do osadzania się cienkimi są wyposażone w elektrostatyczne uchwyty, które mają podwójne funkcje ogrzewania o wysokiej temperaturze i adsorpcji elektrostatycznej. Elektrostatyczne uchwyty stosowane w urządzeniach do trawienia również zaczynają obejmować procesy o wysokiej temperaturze, a materiał ceramiczny należy zmienić z tlenku glinu na azotek aluminiowy.