Susceptor bębna reaktora pokryty węglikiem

Susceptor beczki reaktora z powłoką węglikową Semicorex to najwyższej jakości produkt grafitowy pokryty SiC o wysokiej czystości, zaprojektowany specjalnie do procesów LPE. Dzięki doskonałej odporności na ciepło i korozję produkt ten idealnie nadaje się do stosowania w zastosowaniach związanych z produkcją półprzewodników.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Jeśli szukasz wysokowydajnego susceptora grafitowego do tworzenia warstwy epitaksjalnej na płytkach półprzewodnikowych, susceptor baryłkowy reaktora z powłoką węglikową Semicorex jest doskonałym wyborem. Powłoka z węglika krzemu zapewnia doskonałą dystrybucję ciepła i przewodność cieplną, zapewniając wyjątkową wydajność nawet w najbardziej wymagających środowiskach o wysokiej temperaturze.

W Semicorex koncentrujemy się na dostarczaniu wysokiej jakości, ekonomicznego wspornika beczki reaktora pokrytego węglikiem, priorytetowo traktujemy satysfakcję klienta i zapewniamy opłacalne rozwiązania. Z niecierpliwością czekamy na to, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem, dostarczającym produkty wysokiej jakości i wyjątkową obsługę klienta.

Parametry susceptora beczki reaktora powlekanego węglikiem

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	um	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (CTE)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300

Cechy susceptora beczki reaktora powlekanego węglikiem

- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają dobrą gęstość i mogą odgrywać dobrą rolę ochronną w wysokich temperaturach i korozyjnych środowiskach pracy.

- Susceptor pokryty węglikiem krzemu stosowany do wzrostu monokryształów ma bardzo dużą płaskość powierzchni.

- Zmniejsz różnicę współczynnika rozszerzalności cieplnej pomiędzy podłożem grafitowym a warstwą węglika krzemu, skutecznie poprawiaj siłę wiązania, aby zapobiec pękaniu i rozwarstwianiu.

- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.

- Wysoka temperatura topnienia, odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze, odporność na korozję.