Susceptor lufy pokryty SiC

Semicorex jest producentem i dostawcą susceptorów beczkowych pokrytych SiC w Chinach. Koncentrujemy się na branżach półprzewodników, takich jak warstwy węglika krzemu i półprzewodniki epitaksyjne. Nasze produkty mają dobrą przewagę cenową i obejmują wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

PółcorexSusceptor lufy pokryty SiCto nośnik grafitowy pokryty SiC o wysokiej czystości, wykorzystywany w procesie do wzrostu warstwy epitaksjalnej na chipie waflowym, który jest odpowiedni dla wielu reaktorów epitaksjalnych. Ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
NaszPowłoka SiCBarrel Susceptor jest również odporny na utlenianie i korozję w wysokiej temperaturze, co czyni go niezawodnym i trwałym produktem. Jego wysoka temperatura topnienia zapewnia, że może wytrzymać środowisko o wysokiej temperaturze wymagane do wydajnej produkcji półprzewodników.
Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszychPowłoka SiCOdbiornik beczkowy

ParametryPowłoka SiCOdbiornik beczkowy

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura krystaliczna	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Wielkość ziarna	um	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (CTE)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300