Reaktor epitaksjalny Semicorex SiC Coated to najwyższej jakości produkt grafitowy pokryty SiC o wysokiej czystości. Doskonała gęstość i przewodność cieplna sprawiają, że jest to idealny wybór do stosowania w procesach LPE, zapewniając wyjątkową dystrybucję ciepła i ochronę w środowiskach korozyjnych i wysokotemperaturowych.
Jeśli chodzi o produkcję półprzewodników, beczka reaktora epitaksjalnego powlekanego Semicorex SiC jest najlepszym wyborem ze względu na doskonałą wydajność i wyjątkową dystrybucję ciepła. Ten grafitowy produkt, pokryty SiC o wysokiej czystości, zapewnia wyjątkową odporność na korozję i ciepło, zapewniając za każdym razem niezawodne i spójne wyniki.
W Semicorex koncentrujemy się na dostarczaniu naszym klientom opłacalnych produktów wysokiej jakości. Nasza beczka reaktora epitaksjalnego powlekana SiC ma przewagę cenową i jest eksportowana na wiele rynków europejskich i amerykańskich. Naszym celem jest bycie Twoim długoterminowym partnerem, dostarczającym produkty o stałej jakości i wyjątkową obsługę klienta.
Parametry beczki reaktora epitaksjalnego pokrytego SiC
Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC |
||
Właściwości SiC-CVD |
||
Struktura kryształu |
Faza β FCC |
|
Gęstość |
g/cm³ |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Rozmiar ziarna |
µm |
2 ~ 10 |
Czystość chemiczna |
% |
99.99995 |
Pojemność cieplna |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Felexuralna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Moduł Younga |
Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃) |
430 |
Rozszerzalność cieplna (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Cechy beczki reaktora epitaksjalnego pokrytego SiC
- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają dobrą gęstość i mogą odgrywać dobrą rolę ochronną w wysokich temperaturach i korozyjnych środowiskach pracy.
- Susceptor pokryty węglikiem krzemu stosowany do wzrostu monokryształów ma bardzo wysoką płaskość powierzchni.
- Zmniejsz różnicę współczynnika rozszerzalności cieplnej pomiędzy podłożem grafitowym a warstwą węglika krzemu, skutecznie poprawiaj siłę wiązania, aby zapobiec pękaniu i rozwarstwianiu.
- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.
- Wysoka temperatura topnienia, odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze, odporność na korozję.