Trwały wspornik lufy pokryty SiC

Dzięki doskonałej gęstości i przewodności cieplnej, trwały susceptor baryłkowy Semicorex Durable SiC jest idealnym wyborem do stosowania w procesach epitaksjalnych i innych zastosowaniach związanych z produkcją półprzewodników. Powłoka SiC o wysokiej czystości zapewnia doskonałe właściwości ochronne i rozprowadzanie ciepła, dzięki czemu jest to doskonały wybór, jeśli chcesz uzyskać niezawodne i spójne wyniki.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Jeśli potrzebujesz wysokiej jakości susceptora grafitowego o doskonałej odporności na ciepło i korozję, nie szukaj dalej niż trwały susceptor baryłkowy Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor. Powłoka z węglika krzemu zapewnia wyjątkową przewodność cieplną i dystrybucję ciepła, zapewniając niezawodną i stałą pracę nawet w najbardziej wymagających środowiskach o wysokiej temperaturze.
Nasz trwały susceptor beczkowy pokryty SiC został zaprojektowany w celu uzyskania najlepszego laminarnego przepływu gazu, zapewniając równomierność profilu termicznego. Pomaga to zapobiegać zanieczyszczeniom lub dyfuzji zanieczyszczeń, zapewniając wysokiej jakości wzrost epitaksjalny na chipie waflowym.
Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszym trwałym susceptorze lufowym pokrytym SiC.

Parametry trwałego susceptora lufy pokrytego SiC

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	µm	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300

Cechy trwałego susceptora lufy pokrytego SiC

- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają dobrą gęstość i mogą odgrywać dobrą rolę ochronną w wysokich temperaturach i korozyjnych środowiskach pracy.

- Susceptor pokryty węglikiem krzemu stosowany do wzrostu monokryształów ma bardzo dużą płaskość powierzchni.

- Zmniejsz różnicę współczynnika rozszerzalności cieplnej pomiędzy podłożem grafitowym a warstwą węglika krzemu, skutecznie poprawiaj siłę wiązania, aby zapobiec pękaniu i rozwarstwianiu.

- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.

- Wysoka temperatura topnienia, odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze, odporność na korozję.