Część LPE

Części Semicorex LPE to wysokowydajne komponenty pokryte SiC, zaprojektowane specjalnie do stosowania w procesie epitaksji SiC. Komponenty te zostały zaprojektowane tak, aby wytrzymać wymagające warunki wzrostu kryształów SiC, zapewniając doskonałą stabilność termiczną, odporność chemiczną i wytrzymałość mechaniczną. Wybierając części LPE firmy Semicorex, masz gwarancję wyjątkowej trwałości, precyzji i rozwiązania dostosowanego do Twoich potrzeb w zakresie procesu epitaksji SiC.

Części Semicorex LPE są wykonane z zaawansowanych materiałów i precyzyjnych technik produkcyjnych, co zapewnia spójność i niezawodność każdej jednostki. Właściwości fizyczne i chemiczne powłoki nakładają rygorystyczne wymagania dotyczące odporności na wysokie temperatury i odporności na korozję, które bezpośrednio wpływają na wydajność i żywotność produktu. Materiał SiC ma wysoką wytrzymałość, wysoką twardość, niski współczynnik rozszerzalności cieplnej i dobrą przewodność cieplną. Jest ważnym wysokotemperaturowym materiałem konstrukcyjnym i wysokotemperaturowym materiałem półprzewodnikowym. Nakłada się go na podłoża grafitowe. Jego zalety to:

1) SiC jest odporny na korozję i może całkowicie owinąć grafitową podstawę oraz ma dobrą gęstość, aby uniknąć uszkodzeń przez żrące gazy. 2) SiC ma wysoką przewodność cieplną i wysoką siłę wiązania z bazą grafitową, co zapewnia, że ​​powłoka nie będzie łatwo odpadać po wielu cyklach wysokiej i niskiej temperatury. 3) SiC ma dobrą stabilność chemiczną, aby uniknąć uszkodzenia powłoki w wysokiej temperaturze i atmosferze korozyjnej. Ponadto piece epitaksjalne z różnych materiałów wymagają tac grafitowych o różnych wskaźnikach wydajności. Dopasowanie współczynnika rozszerzalności cieplnej materiałów grafitowych wymaga dostosowania do temperatury wzrostu pieca epitaksjalnego. Na przykład temperatura epitaksji węglika krzemu jest wysoka i wymagana jest taca o wysokim współczynniku rozszerzalności cieplnej. Współczynnik rozszerzalności cieplnej SiC jest bardzo zbliżony do współczynnika grafitu, co czyni go odpowiednim materiałem do powlekania powierzchni podłoża grafitowego.

Zastosowania w procesie epitaksji SiC

Proces epitaksji SiC jest krytycznym etapem w produkcji wysokiej jakości płytek SiC stosowanych w urządzeniach półprzewodnikowych, w tym w energoelektronice i optoelektronice. Części LPE, szczególnie te z powłokami SiC, odgrywają zasadniczą rolę w precyzyjnej kontroli temperatury i reakcji chemicznych w reaktorze. Składniki te są strategicznie rozmieszczone w reaktorze, aby ułatwić optymalny wzrost płytek przy jednoczesnym zachowaniu czystości i jednorodności kryształów SiC.

W Semicorex rozumiemy, że każdy proces epitaksji SiC ma unikalne wymagania. Właśnie dlatego nasze części LPE można w pełni dostosować do konkretnych potrzeb Twojej firmy. Niezależnie od tego, czy chodzi o rozmiar, kształt czy grubość powłoki, nasz zespół inżynierów ściśle współpracuje z klientami, aby dostarczać komponenty optymalizujące ich procesy produkcyjne.

Wysokiej jakości powłoka SiC nałożona na nasze części zapewnia również doskonałą trwałość. W przeciwieństwie do materiałów konwencjonalnych, SiC zapewnia dłuższą żywotność w trudnych warunkach pracy, zmniejszając częstotliwość konserwacji i przestojów. Ta trwałość przekłada się na niższe koszty operacyjne i zwiększoną wydajność dla producentów półprzewodników.

Części Semicorex LPE zostały zaprojektowane z precyzją i skonstruowane tak, aby spełniać rygorystyczne wymagania procesu epitaksji SiC. Nasze komponenty produkowane są przy użyciu najnowocześniejszych technologii, co gwarantuje niezrównaną wydajność i trwałość. Wybierając Semicorex, wybierasz partnera, który rozumie złożoność produkcji półprzewodników i jest zaangażowany w dostarczanie niezawodnych produktów wysokiej jakości, które zwiększają Twoje możliwości produkcyjne.

Części Semicorex LPE z ichPowłoka SiC, są idealnym wyborem w celu zwiększenia wydajności i trwałości reaktorów epitaksji SiC. Komponenty te zapewniają doskonałą stabilność termiczną, odporność chemiczną i wytrzymałość mechaniczną, zapewniając płynny i wydajny proces wzrostu kryształów SiC. Dzięki dostępnym opcjom dostosowywania Semicorex oferuje dostosowane rozwiązanie, które spełnia Twoje specyficzne wymagania procesowe, co czyni nas zaufanym partnerem producentów półprzewodników na całym świecie.