Dysk planetarny

Dysk planetarny to rewolucyjny nośnik i susceptor płytek zaprojektowany do procesów epitaksji z wiązek molekularnych (MBE) w piecach do chemicznego osadzania z fazy gazowej metali organicznych (MOCVD). Wykonany z wysokiej jakości materiałów dysk planetarny został zaprojektowany tak, aby wynieść produkcję półprzewodników na nowy poziom.

Dysk planetarny jest starannie wykonany z grafitu pokrytego CVD SiC, co zapewnia wyjątkową stabilność termiczną, wysoką czystość i odporność na ekstremalne temperatury. Ten zaawansowany skład materiałów gwarantuje doskonałą wydajność i trwałość w wymagających środowiskach MOCVD.

Powłoka CVD SiC na podłożu grafitowym zwiększa przewodność cieplną, promując efektywne przenoszenie ciepła podczas procesu MOCVD. Ta cecha nie tylko zapewnia spójne profile temperatur na całej płytce, ale także przyczynia się do zmniejszenia naprężeń termicznych i poprawy ogólnej wydajności.

Dysk planetarny jest dostosowany do indywidualnych potrzeb i jest kompatybilny z szeroką gamą rozmiarów płytek półprzewodnikowych, co czyni go wszechstronnym rozwiązaniem dla różnych wymagań produkcyjnych. Zbudowany, aby wytrzymać rygorystyczne wymagania pieców MOCVD, dysk planetarny wykazuje wyjątkową trwałość i niezawodność. Jego solidna konstrukcja zapewnia długotrwałą wydajność, redukując przestoje i koszty konserwacji związane z nośnikami i susceptorami płytek.