Sedkorex Planetary Sensceptor jest składnikiem grafitowym o wysokiej czystości z powłoką SIC, zaprojektowaną dla reaktorów AIXtron G5+ w celu zapewnienia jednolitego rozkładu ciepła, odporności chemicznej i wzrostu warstwy epitaksjalnej.*
Sekticorex Planetary Satters jest niezbędnym komponentem dla reaktorów epitaksji półprzewodników, specjalnie zaprojektowanego dla sprzętu AIXTRON G5+. Skonstruowane z grafitu o dużej czystości ipokryte węglikiem krzemu (sic), ta podatnik gwarantuje doskonałą stabilność termiczną, wyjątkową odporność chemiczną i niezrównaną wydajność w środowiskach o wysokiej temperaturze.
Reaktor epitaxy Aixtron G5+ stanowi punkt odniesienia w branży dla GAN, SIC i innych złożonych procesów wzrostu półprzewodników. Podatność planetarna ma kluczowe znaczenie w optymalizacji przepływu gazu, zapewniającego precyzyjne obrót waflu, utrzymując dokładną kontrolę temperatury i osiągając jednolite osadzanie warstw epitaksjalnych. Jego innowacyjny projekt znacznie zwiększa powtarzalność procesu, co czyni go idealnym wyborem dla środowisk produkcyjnych o dużej objętości.
Kluczowe funkcje
- Zaawansowany skład materiału: wykonany z grafitu o wysokiej czystości z powłoką SIC, zapewniając zwiększoną trwałość i odporność na trudne warunki procesowe.
- Zoptymalizowana wydajność termiczna: Zapewnia jednolity rozkład ciepła, kluczowy dla wysokiej precyzji wzrostu warstwy epitaksjalnej.
- Odporność chemiczna: powłoka SIC zapobiega utlenianiu grafitu, przedłużenia życia podatnika i utrzymanie czystości procesu.
- Inżynieria precyzyjna: zaprojektowana w celu spełnienia rygorystycznych wymagań systemów AIXtron G5+, zapewniając bezproblemową integrację i optymalną wydajność reaktora.
- Wysoka jednolitość powierzchni: minimalizuje zanieczyszczenie cząstek, wspierając najwyższą jakość płytki i wyższą wydajność w produkcji półprzewodnikowej.
Zalety naszego planetarnego podatnika
- Rozszerzone życie służby: ThePowłoka sicZnacząco zmniejsza zużycie, co powoduje niższą częstotliwość wymiany i obniżone koszty operacyjne.
- Ulepszona stabilność procesu: Zapewnia spójne ogrzewanie i minimalne gradienty termiczne, prowadzące do produkcji wysokiej jakości waflów.
- Kompatybilność i dostosowywanie: Dostępne w standardowych i dostosowanych projektach w celu spełnienia określonych wymagań procesu AIXtron G5+.
GrafitCzęści odgrywają niezbędną i bardzo ważną rolę w procesie półprzewodnikowym. Jakość materiałów grafitowych ma duży wpływ na jakość gotowych produktów. Nasza spójność partii grafitowej i jednorodność materiału można kontrolować i zagwarantować poprzez proces produkcyjny.
1. Mała produkcja partii, piec karbonizacji wykorzystuje tylko mały piec z zaledwie 50 metrów sześciennych
2. Każdy kawałek materiału jest monitorowany i śledzony
3. Wielopunktowe monitorowanie temperatury w przestrzeni pieca, aby zapewnić, że różnica temperatur jest przechowywana w bardzo małym zakresie
4. Wielopunktowe monitorowanie temperatury materiału, aby upewnić się, że różnica temperatury jest przechowywana w bardzo małym zakresie
Semiokorex wrażliwość planetarna jest premium rozwiązaniem dla reaktorów Aixtron G5+, oferującego wyjątkową stabilność termiczną, odporność chemiczną i precyzyjną wydajność. Zaprojektowany w przypadku najbardziej wymagających procesów produkcyjnych półprzewodników, napędza wyższe plony płytki, minimalizuje ryzyko zanieczyszczenia i przedłuża żywotność sprzętu. Uaktualnij swój system epitaxy za pomocą podatnika na najwyższym poziomie, aby uzyskać niezrównane wyniki.