Produkty

Płyty powlekania SIC SICORORX RTP to wysokowydajne przewoźniki opłat zaprojektowane do użytku w wymagających środowiskach szybkiego przetwarzania termicznego. Zaufany przez wiodących producentów półprzewodników, SemiCoRex zapewnia doskonałą stabilność termiczną, trwałość i kontrolę zanieczyszczenia wspierane przez rygorystyczne standardy jakości i precyzyjne produkcję.*

Pierścień Semicorex RTP to pierścień grafitowy pokryty SiC, przeznaczony do zastosowań o wysokiej wydajności w systemach szybkiego przetwarzania termicznego (RTP). Wybierz Semicorex ze względu na naszą zaawansowaną technologię materiałową, zapewniającą wyjątkową trwałość, precyzję i niezawodność w produkcji półprzewodników.*

Grafitowa płyta nośna RTP firmy Semicorex to idealne rozwiązanie do zastosowań związanych z przetwarzaniem płytek półprzewodnikowych, w tym do wzrostu epitaksjalnego i przetwarzania płytek. Nasz produkt został zaprojektowany tak, aby zapewniać doskonałą odporność na ciepło i jednorodność termiczną, zapewniając, że susceptory epitaksji są poddawane działaniu środowiska osadzania, z wysoką odpornością na ciepło i korozję.

Semicorex RTP SiC Coating Carrier oferuje doskonałą odporność na ciepło i jednorodność termiczną, co czyni go idealnym rozwiązaniem do zastosowań związanych z przetwarzaniem płytek półprzewodnikowych. Dzięki wysokiej jakości grafitowi pokrytemu SiC, produkt ten został zaprojektowany tak, aby wytrzymać najcięższe warunki osadzania w przypadku wzrostu epitaksjalnego. Wysoka przewodność cieplna i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła zapewniają niezawodne działanie podczas RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.

Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier został zaprojektowany tak, aby wytrzymać najcięższe warunki środowiska osadzania. Dzięki wysokiej odporności na temperaturę i korozję produkt ten został zaprojektowany tak, aby zapewnić optymalną wydajność wzrostu epitaksjalnego. Nośnik pokryty SiC ma wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła, zapewniając niezawodne działanie podczas RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.

Płyta nośna Semicorex SiC Graphite RTP do MOCVD zapewnia doskonałą odporność na ciepło i jednorodność termiczną, co czyni ją idealnym rozwiązaniem do zastosowań w przetwarzaniu płytek półprzewodnikowych. Dzięki wysokiej jakości grafitowi pokrytemu SiC produkt ten został zaprojektowany tak, aby wytrzymać najcięższe warunki osadzania w przypadku wzrostu epitaksjalnego. Wysoka przewodność cieplna i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła zapewniają niezawodne działanie podczas RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.