Produkty

Wykonany z wysokowydajnych materiałów CVD SiC, pierścień ostrości Semicorex CVD SiC do 2L10-506419-21 jest kluczową częścią pierścienia zaprojektowaną specjalnie dla sprzętu TEL VIGUS RK4 używanego w precyzyjnych procesach trawienia półprzewodników. Wybór Semicorex oznacza, że ​​otrzymasz idealne rozwiązania CVD SiC, umożliwiające osiągnięcie precyzyjnych i jednolitych wyników trawienia.

Susceptory planetarne z powłoką Semicorex SiC to precyzyjne grafitowe elementy nośne pokryte gęstą powłoką z węglika krzemu, zaprojektowane specjalnie dla zaawansowanego sprzętu MOCVD. Mogą umożliwić równomierny przepływ gazu i rozkład ciepła, przyczyniając się w ten sposób do stworzenia optymalnego środowiska epitaksjalnego.

Ceramiczne łodzie waflowe Semicorex SiC to wysokowydajne rozwiązania z węglika krzemu, zaprojektowane tak, aby bezpiecznie podtrzymywać i transportować płytki podczas najnowocześniejszej produkcji półprzewodników. Dzięki tym doskonałym zaletom doskonale nadają się do precyzyjnych procesów produkcji półprzewodników w wysokiej temperaturze, takich jak procesy utleniania, dyfuzji i CVD.

Dyski odchylające gaz pokryte powłoką Semicorex SiC to niezbędne elementy grafitowe stosowane w półprzewodnikowym sprzęcie epitaksjalnym, zaprojektowane specjalnie w celu regulowania przepływu gazu reakcyjnego i zapewniania równomiernej dystrybucji gazu w komorze reakcyjnej. Wybierz Semicorex, wybierz optymalne rozwiązania w zakresie przekierowania gazu, aby uzyskać wysokiej jakości wyniki epitaksjalne płytek.

Semicorex SiC Wafer Carrier jest wykonany z ceramiki z węglika krzemu o wysokiej czystości, dzięki technologii druku 3D, co oznacza, że ​​może w krótkim czasie uzyskać bardzo cenne elementy do obróbki. Uważa się, że Semicorex dostarcza naszym klientom na całym świecie kwalifikowane produkty wysokiej jakości.*

Pierścienie górne pokryte Semicorex CVD SiC to podstawowe elementy w kształcie pierścienia, zaprojektowane specjalnie dla wyrafinowanego sprzętu do trawienia plazmowego. Jako wiodący w branży dostawca komponentów półprzewodnikowych, Semicorex koncentruje się na dostarczaniu wysokiej jakości, trwałych i ultraczystych górnych pierścieni uziemiających pokrytych CVD SiC, aby pomóc naszym cenionym klientom poprawić wydajność operacyjną i ogólną jakość produktu.