Susceptory planetarne pokryte SiC

Susceptory planetarne pokryte Semicorex SiC są niezbędnym elementem nośnym przeznaczonym do wzrostu epitaksjalnego półprzewodników w sprzęcie Aixtron G2, w którym są w stanie bezpiecznie podtrzymywać płytki i obracać się w ruchu planetarnym. W ten sposób można z powodzeniem osiągnąć precyzyjną równomierność termiczną i równomierny rozkład gazu na powierzchni płytki, co skutkuje osadzeniem warstwy epitaksjalnej najwyższej jakości na płytkach.

Zalety susceptorów planetarnych Semicorex SiC

1. Konstrukcja kieszeni z wieloma waflami

Powłoka Semicorex SiCsusceptory planetarnecharakteryzują się równomiernym rozmieszczeniem kilku kieszeni waflowych o precyzyjnie kontrolowanych wymiarach. Te kieszenie waflowe są w stanie mocno utrzymać podłoża waflowe podczas procesu wzrostu epitaksjalnego, co może skutecznie minimalizować zmiany procesu epitaksjalnego spowodowane niepożądanym ruchem podłoża waflowego. Ponadto konstrukcja kieszeni składających się z wielu płytek umożliwia jednoczesne osadzanie epitaksjalne wielu substratów w jednym przebiegu procesu, co znacznie poprawia ogólną wydajność procesu wzrostu epitaksjalnego.

2. Zoptymalizowany układ otworów przepływu gazu

Semicorex zawiera w swoim urządzeniu starannie zaprojektowany zestaw kanałów przepływu gazuz powłoką SiCsusceptory planetarne, co udoskonala optymalizację dynamiki przepływu gazu i równomierności termicznej na powierzchni płytki w całym procesie epitaksjalnym. Ta przemyślana konstrukcja umożliwia dokładną kontrolę nad natężeniem przepływu i dystrybucją gazu w komorze reakcyjnej, co jest niezbędne do uzyskania wysokiej jakości cienkich warstw, jednolitej grubości warstwy i ogólnej niezawodności urządzenia.

3. Bardzo wysoka czystość

Susceptory planetarne pokryte Semicorex SiC są produkowane z materiałów o ultrawysokiej czystości i wyjątkowo niskim poziomie zanieczyszczeń, w pełni spełniając rygorystyczne wymagania czystości obowiązujące przy produkcji półprzewodników. Skutecznie minimalizują zanieczyszczenie płytek spowodowane odgazowaniem metali, nawet w wysokiej temperaturze i warunkach korozyjnych typowych dla procesów epitaksjalnych.

4. Długotrwała żywotność

Kontrola jakości Semicorex rozpoczyna się od rygorystycznej selekcji surowców. Susceptory planetarne pokryte SiC są precyzyjnie wykonane z grafitu klasy półprzewodnikowej i węglika krzemu, oferując doskonałą odporność na wysokie temperatury i korozję, dzięki czemu doskonale wytrzymują trudne, wysokotemperaturowe i wysoce korozyjne epitaksjalne warunki pracy. Dzięki tym doskonałym właściwościom materiału, susceptory planetarne pokryte Semicorex SiC mogą zachować stałą wydajność i integralność strukturalną oraz uniknąć uszkodzeń powierzchni i spadku wydajności w komorach reakcyjnych o wysokiej temperaturze i wysokiej korozji, co w ten sposób znacznie wydłuża żywotność susceptorów planetarnych pokrytych SiC.