Ceramiczne łódki waflowe SiC

Wybór niezawodnych i trwałych łodzi waflowych ma kluczowe znaczenie dla zapewnienia stabilności procesu i wydajności płytek w warunkach pracy w wysokiej temperaturze i wysokiej korozji. PółcorexCeramika SiCłodzie waflowe są idealnym wyborem do tego celu, ponieważ wykorzystują ich liczne zalety, w tym wysoką integrację, wysoką stabilność, odporność na wysoką temperaturę, odporność na zużycie i długą żywotność.

Wybór surowców najwyższej jakości

Kontrola jakości Semicorex ponadCeramiczne łódki waflowe SiCzaczyna się od rygorystycznej selekcji surowców. Ceramiczne łódki waflowe Semicorex SiC są wykonane z proszku węglika krzemu o wysokiej czystości półprzewodnika poprzez spiekanie w wysokiej temperaturze. Dzięki najwyższej jakości surowcom zapewniają następującą wyjątkową wydajność.

1. Bardzo wysoka czystość, niskie zanieczyszczenie zanieczyszczeniami metalicznymi.

2. Gęsta struktura materiału, zmniejszająca zanieczyszczenie płytek spowodowane przez wydzielanie cząstek.

3. Doskonała odporność na korozję w stosunku do plazmy, mocnych kwasów i zasad.

4. Wysoka twardość i wytrzymałość mechaniczna, odporność na zużycie i zarysowania.

5. Wyjątkowa stabilność termiczna, brak deformacji i pełzania w temperaturze 1250°C.

6. Doskonała odporność na szok termiczny, redukująca naprężenia termiczne spowodowane szybkimi zmianami temperatury.

Przemyślany projekt dostosowany do indywidualnych potrzeb

Ceramiczne łodzie waflowe Semicorex SiC dobrze pasują do wielu wiodących producentów OEM pieców w branży, takich jak TEL, ASM i Kokusai Electric. Semicorex oferuje rozwiązania zaprojektowane na zamówienie dla naszych cenionych klientów, wspierając dostosowywanie wymiarów łodzi waflowych, rozstawu szczelin, głębokości szczelin, profili szczelin (w kształcie litery V lub U) i odpowiednich kątów, aby zapewnić doskonałą kompatybilność z Twoim sprzętem i wymaganiami przetwarzania.

Precyzyjna dokładność obróbki

Dzięki zaawansowanemu sprzętowi do obróbki i dojrzałym technologiom przetwarzania firma Semicorex jest w stanie ściśle kontrolować wymiary i tolerancje swoich ceramicznych łodzi waflowych SiC. Ta precyzyjna kontrola wymiarów zapewnia stabilne ustawienie płytek półprzewodnikowych podczas pracy, co skutecznie zapobiega uszkodzeniom płytek w wyniku poślizgu lub przechylenia. Po precyzyjnej obróbce równomiernie rozmieszczone szczeliny płytek ceramicznych SiC mogą zapewnić, że każda płytka zostanie nagrzana i równomiernie reaguje podczas procesów utleniania, dyfuzji i CVD, co w znacznym stopniu przyczynia się do poprawy spójności procesu i wydajności chipów półprzewodnikowych.