Produkty

Susceptory waflowe z powłoką Semicorex SiC to niezastąpione nośniki wafli grafitowych pokryte gęstą i jednolitą powłoką CVD SiC, które zostały zaprojektowane specjalnie dla wysokiej klasy półprzewodnikowych systemów wzrostu epitaksjalnego MOCVD. Wybór Semicorex oznacza, że ​​możesz uzyskać opłacalne ceny, najwyższą jakość produktu i niezawodną obsługę.

Susceptory planetarne z powłoką Semicorex SiC to precyzyjne grafitowe elementy nośne pokryte gęstą powłoką z węglika krzemu, zaprojektowane specjalnie dla zaawansowanego sprzętu MOCVD. Mogą umożliwić równomierny przepływ gazu i rozkład ciepła, przyczyniając się w ten sposób do stworzenia optymalnego środowiska epitaksjalnego.

Podpora Semicorex Quartz Susceptor została zaprojektowana specjalnie do półprzewodnikowych pieców epitaksjalnych. Materiały o wysokiej czystości i precyzyjna konstrukcja umożliwiają dokładne podnoszenie i kontrolę pozycjonowania tacek lub uchwytów na próbki w komorze reakcyjnej. Semicorex może dostarczyć dostosowane do indywidualnych potrzeb rozwiązania kwarcowe o wysokiej czystości, zapewniające długoterminową stabilność działania każdego elementu pomocniczego w środowiskach procesów półprzewodnikowych charakteryzujących się wysoką próżnią, wysoką temperaturą i wysoką korozją, dzięki zaawansowanej technologii przetwarzania i rygorystycznej kontroli jakości.*

Susceptory płytek grafitowych Semicorex 1x2" to wysokowydajne elementy nośne zaprojektowane specjalnie dla płytek 2-calowych, które doskonale nadają się do procesu epitaksjalnego płytek półprzewodnikowych. Wybierz Semicorex ze względu na wiodącą w branży czystość materiału, precyzyjną inżynierię i niezrównaną niezawodność w wymagających środowiskach wzrostu epitaksjalnego.

Susceptory płytek grafitowych powlekanych Semicorex TaC to najnowocześniejsze komponenty stosowane zazwyczaj w celu stabilnego podparcia i pozycjonowania płytek półprzewodnikowych podczas zaawansowanych procesów epitaksjalnych półprzewodników. Wykorzystując najnowocześniejsze technologie produkcyjne i dojrzałe doświadczenie produkcyjne, Semicorex angażuje się w dostarczanie naszym cenionym klientom specjalnie zaprojektowanych grafitowych susceptorów waflowych pokrytych TaC o wiodącej na rynku jakości.

Susceptory Semicorex CVD TaC to wysokowydajne susceptory grafitowe z gęstą powłoką TaC, zaprojektowane w celu zapewnienia doskonałej równomierności termicznej i odporności na korozję w wymagających procesach epitaksjalnego wzrostu SiC. Semicorex łączy zaawansowaną technologię powlekania CVD ze ścisłą kontrolą jakości, aby zapewnić trwałe susceptory o niskim poziomie zanieczyszczeń, którym zaufali światowi producenci SiC epi.*