Nośnik Semicorex RTP jest pokryty węglikiem krzemu w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego. W rdzeniu procesu półprzewodnikowego, susceptory epitaksji są najpierw poddawane działaniu środowiska osadzania, dzięki czemu mają wysoką odporność na ciepło i korozję. Nośnik pokryty SiC ma również wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.
● Grafit pokryty SiC o wysokiej czystości
● Doskonała odporność na ciepło i chemikalia
● Wysoka równomierność termiczna
● Doskonała odporność na zużycie
Semicorex RTP Carrier for MOCVD Epitaksjalny wzrost jest idealny do zastosowań związanych z przetwarzaniem płytek półprzewodnikowych, w tym wzrostu epitaksjalnego i przetwarzania płytek. Susceptory z grafitu węglowego i tygle kwarcowe są przetwarzane przez MOCVD na powierzchni grafitu, ceramiki itp. Nasze produkty mają dobrą przewagę cenową i obejmują wiele rynków europejskich i amerykańskich. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie