Nośnik Semicorex RTP jest pokryty węglikiem krzemu w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego. W rdzeniu procesu półprzewodnikowego, susceptory epitaksji są najpierw poddawane działaniu środowiska osadzania, dzięki czemu mają wysoką odporność na ciepło i korozję. Nośnik pokryty SiC ma również wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.
● Grafit pokryty SiC o wysokiej czystości
● Doskonała odporność na ciepło i chemikalia
● Wysoka równomierność termiczna
● Doskonała odporność na zużycie
Semicorex jest producentem i dostawcą grafitu powlekanego węglikiem krzemu na dużą skalę w Chinach. Susceptor grafitowy Semicorex zaprojektowany specjalnie dla sprzętu epitaksyjnego o wysokiej odporności na ciepło i korozję w Chinach. Nasz nośnik powlekany RTP RTA SiC ma dobrą przewagę cenową i obejmuje wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex RTP Carrier for MOCVD Epitaksjalny wzrost jest idealny do zastosowań związanych z przetwarzaniem płytek półprzewodnikowych, w tym wzrostu epitaksjalnego i przetwarzania płytek. Susceptory z grafitu węglowego i tygle kwarcowe są przetwarzane przez MOCVD na powierzchni grafitu, ceramiki itp. Nasze produkty mają dobrą przewagę cenową i obejmują wiele rynków europejskich i amerykańskich. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie