Grafitowy susceptor z powłoką SiC

Jeśli szukasz wysokowydajnego susceptora grafitowego do stosowania w zastosowaniach związanych z produkcją półprzewodników, susceptor baryłkowy z grafitem powlekanym Semicorex SiC jest idealnym wyborem. Wyjątkowa przewodność cieplna i właściwości dystrybucji ciepła sprawiają, że jest to doskonały wybór, jeśli chcesz zapewnić niezawodne i spójne działanie w środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjnym.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Susceptor baryłkowy z powłoką grafitową Semicorex SiC to idealny wybór do zastosowań w produkcji półprzewodników, które wymagają wyjątkowej dystrybucji ciepła i przewodności cieplnej. Powłoka SiC o wysokiej czystości i doskonała gęstość zapewniają doskonałą ochronę i właściwości rozprowadzania ciepła, zapewniając niezawodną i stałą wydajność nawet w najbardziej wymagających środowiskach.

Nasz grafitowy susceptor z powłoką SiC został zaprojektowany w celu uzyskania najlepszego laminarnego przepływu gazu, zapewniając równomierność profilu termicznego. Pomaga to zapobiegać zanieczyszczeniom lub dyfuzji zanieczyszczeń, zapewniając wysokiej jakości wzrost epitaksjalny na chipie waflowym.

Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej na temat naszego grafitowego susceptora z powłoką SiC.

Parametry susceptora beczkowego z grafitu powlekanego SiC

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	µm	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300

Cechy grafitowego susceptora z powłoką SiC

- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają dobrą gęstość i mogą odgrywać dobrą rolę ochronną w wysokich temperaturach i korozyjnych środowiskach pracy.

- Susceptor pokryty węglikiem krzemu stosowany do wzrostu monokryształów ma bardzo dużą płaskość powierzchni.

- Zmniejsz różnicę współczynnika rozszerzalności cieplnej pomiędzy podłożem grafitowym a warstwą węglika krzemu, skutecznie poprawiaj siłę wiązania, aby zapobiec pękaniu i rozwarstwianiu.

- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.

- Wysoka temperatura topnienia, odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze, odporność na korozję.