Susceptory grafitowe z powłoką SiC do MOCVD

Nasze susceptory grafitowe z powłoką SiC do MOCVD charakteryzują się wysoką odpornością na ciepło i korozję, co zapewnia doskonałą stabilność nawet w ekstremalnych warunkach.
Cechy tych grafitowych susceptorów z powłoką SiC do MOCVD są wyjątkowe. Wykonany jest z wysokiej czystości powłoki z węglika krzemu na graficie, co czyni go wysoce odpornym na utlenianie w wysokich temperaturach do 1600°C. Zastosowany w jego produkcji proces chemicznego osadzania z fazy gazowej CVD zapewnia wysoką czystość i doskonałą odporność na korozję. Powierzchnia nośnika jest gęsta, z drobnymi cząsteczkami, które zwiększają jego odporność na korozję, czyniąc go odpornym na działanie kwasów, zasad, soli i odczynników organicznych.
Nasze susceptory grafitowe z powłoką SiC do MOCVD zapewniają równomierny profil termiczny, gwarantując najlepszy laminarny przepływ gazu. Zapobiega przedostawaniu się zanieczyszczeń do płytki, dzięki czemu idealnie nadaje się do stosowania w pomieszczeniach czystych. Semicorex jest producentem i dostawcą grafitu powlekanego SiC na dużą skalę w Chinach, a nasze produkty mają dobrą przewagę cenową. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem w branży półprzewodników.

Parametry susceptorów bazowych z grafitu powlekanego SiC dla MOCVD

Cechy susceptora grafitowego powlekanego SiC dla MOCVD

- Unikać odklejania się i zapewnić pokrycie całej powierzchni
Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze: Stabilny w wysokich temperaturach do 1600°C
Wysoka czystość: uzyskana przez chemiczne osadzanie z fazy gazowej CVD w warunkach chlorowania w wysokiej temperaturze.
Odporność na korozję: wysoka twardość, gęsta powierzchnia i drobne cząstki.
Odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.
- Uzyskaj najlepszy laminarny przepływ gazu
- Gwarancja równomierności profilu termicznego
- Zapobiegać wszelkim zanieczyszczeniom lub rozprzestrzenianiu się zanieczyszczeń