Nośniki płytek z powłoką SiC do MOCVD

Semicorex SiC Coated Plate Carriers for MOCVD to wysokiej jakości nośnik przeznaczony do stosowania w procesie produkcji półprzewodników. Wysoka czystość, doskonała odporność na korozję, a nawet profil termiczny sprawiają, że jest to doskonały wybór dla osób poszukujących nośnika, który wytrzyma wymagania procesu produkcyjnego półprzewodników.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Nasze nośniki płytek powlekane SiC do MOCVD charakteryzują się wysoką czystością, co czyni je doskonałym wyborem dla osób poszukujących nośnika, który jest bardzo jednolity i spójny pod względem właściwości.
Nasze nośniki płytek z powłoką SiC do MOCVD wykonane są z powłoki z węglika krzemu o wysokiej czystości na graficie, co czyni je wysoce odpornymi na utlenianie w wysokich temperaturach do 1600°C. Zastosowany w jego produkcji proces chemicznego osadzania z fazy gazowej CVD zapewnia wysoką czystość i doskonałą odporność na korozję. Jest wysoce odporny na korozję, ma gęstą powierzchnię i drobne cząstki, dzięki czemu jest odporny na kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne. Jego odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze zapewnia stabilność w wysokich temperaturach do 1600°C.

Parametry nośników płytek pokrytych SiC dla MOCVD

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	µm	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (CTE)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300

Cechy susceptora grafitowego powlekanego SiC dla MOCVD

- Unikać odklejania się i zapewnić pokrycie całej powierzchni
Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze: Stabilny w wysokich temperaturach do 1600°C
Wysoka czystość: uzyskana przez chemiczne osadzanie z fazy gazowej CVD w warunkach chlorowania w wysokiej temperaturze.
Odporność na korozję: wysoka twardość, gęsta powierzchnia i drobne cząstki.
Odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.
- Uzyskaj najlepszy laminarny przepływ gazu
- Gwarancja równomierności profilu termicznego
- Zapobiegać wszelkim zanieczyszczeniom lub rozprzestrzenianiu się zanieczyszczeń