SIC Moduł epitaksjalny

Moduł epitaksjalny SEMICOREX SIC, wykonany z grafitu powlekanego SIC klasy premium, jest częścią sprzętu epitaksjalnego, który jest opracowywany w celu wytrzymania najtrudniejszych elementów procesów epitaksji węgla krzemu (SIC). Moduł ten, przeznaczony do wysokiej temperatury w zastosowaniach odkładania pary chemicznej (CVD), jest ważnym elementem wykazania stabilności i wsparcia dla płytek podczas wzrostu epitaksjalnego wysokiej jakości SIC. Moduł SIC SEMICOREX jest efektywnym materiałem podstawowym dla niezawodnej i powtarzalnej produkcji materiału epitaksjalnego zgodnego z wysokiej jakości specyfikacjami SIC.

Moduł SIC SEMICOREX jest substratem grafitowym pokrytym gęstą i jednolitą warstwą krzemowego poszycia z węglika i jest odporny na zanieczyszczenie cząstek i korozję, nawet w najcięższych chemii procesowej. Powłoka SIC zabrania zanieczyszczenia i erozji podstawowego grafitu oraz zapewnia znaczne wsparcie mechaniczne i ochronę do 1600 ° C. Moduł SIC łączy wytrzymałość i maszynowalność grafitu z ogólnym zużyciem, korozją i odpornym na chemikalia właściwości węgliku krzemu, co czyni go najlepiej dopasowanym do modułu pod względem trwałości w trudnej atmosferze epitaksjalnej.

Moduł został zaprojektowany tak, aby zapewnić jednolity profil termiczny przy jednoczesnym minimalizowaniu zmiany wymiarowej w całym procesie cyklicznym termicznym. Ta jednolitość termiczna i stabilność są niezbędne do utrzymania płaskości i jednolitości epitaxii. Jeśli wafel utrzyma stabilną pozycję o wysokiej przewodności cieplnej, wówczas warunki termiczne w płytce podczas przetwarzania będą jednolite, co pozytywnie wpływa na wydajność, jakość kryształu i przestojów związanych z awarią części lub zanieczyszczenia.

Moduł epitaxialny SIC jest kompatybilny z kilkoma reaktorami epitaxial, w tym na gorącą ścianę i zimną ścianę i ma możliwość dostosowania do kształtu i wymiarów, aby uwzględnić określone układy reaktora i potrzeby klientów. Moduł epitaksjalny SIC jest dobrze odpowiedni, ale nie ograniczony do 4-calowych, 6-calowych i rozwijających się 8-calowych zastosowań epitaxy SIC. Ze względu na wysoką czystość i zoptymalizowaną geometrię modułu epitaksjalnego SIC, interferencja fizyczna jest zminimalizowana pod względem wpływu na dynamikę przepływu gazu i gradienty termiczne, które wspierają bardziej kontrolowany wzrost warstwy epitaksjalnej.

Moduły epitaksjalne SIC SECOROREX reprezentują najwyższej jakości kontrolowany element w ekscentrycznym zespole. Oprócz protokołów kontroli wysokiej jakości, SemiCoREX wykorzystuje najnowsze metody powlekania do stosowania jednolitych, gęstych i nisko wydatnych filmów SIC. SemiCoREX ma długą historię wysokowydajnych powłok ceramicznych i obróbki grafitowej identyfikacji korzyści procesowych, które zapewniają najlepszą możliwą żywotność produktu, spójność i stabilność procesu od partii do partii.

W szybko rozwijającym się dziedzinie urządzeń zasilających SIC, w której jakość materiału bezpośrednio wpływa na wydajność urządzenia, moduł epitaksjalny nie jest tylko konsumplem-jest krytycznym czynnikiem włączającym. Moduł epitaksjalny powlekany SIC z SemicoREX oferuje solidne, niezawodne rozwiązanie dla klientów, którzy chcą przekraczać granice wydajności, wydajności i opłacalności w epitaksji SIC.