Receptor epitaksji SiC

Wykonany z precyzją i zaprojektowany z myślą o niezawodności, susceptor epitaksyjny SiC charakteryzuje się wysoką odpornością na korozję, wysoką przewodnością cieplną, odpornością na szok termiczny i wysoką stabilnością chemiczną, dzięki czemu może skutecznie funkcjonować w atmosferze epitaksjalnej. Dlatego też susceptor epitaksyjny SiC jest uważany za rdzeń i kluczowy element sprzętu MOCVD. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Susceptor epitaksji SiC jest krytycznym elementem stosowanym w sprzęcie MOCVD do podtrzymywania i podgrzewania substratów monokrystalicznych. Jego doskonałe parametry użytkowe, takie jak stabilność termiczna i jednorodność termiczna, odgrywają decydującą rolę w jakości wzrostu materiału epitaksjalnego, zapewniając wysoki poziom jednorodności i czystości w materiałach cienkowarstwowych.

Susceptor epitaksji SiC charakteryzuje się doskonałą gęstością, zapewniając skuteczną ochronę w wysokich temperaturach i korozyjnych środowiskach pracy. Dodatkowo jego wysoki poziom płaskości powierzchni doskonale spełnia wymagania dotyczące wzrostu monokryształów na powierzchni podłoża.

Minimalny współczynnik różnic rozszerzalności cieplnej w susceptorze epitaksjalnym SiC znacznie zwiększa siłę wiązania pomiędzy podłożem epitaksjalnym a materiałem powłoki, zmniejszając w ten sposób prawdopodobieństwo pękania po doświadczeniu cykli termicznych w wysokiej temperaturze.

Jednocześnie wykazuje wysoką przewodność cieplną, co umożliwia szybkie i równomierne rozprowadzanie ciepła dla wzrostu wiórów. Co więcej, jego wysoka temperatura topnienia, odporność na temperaturę, odporność na utlenianie i odporność na korozję umożliwiają stabilną pracę w wysokich temperaturach i korozyjnych środowiskach pracy.

Jako kluczowy element komory reakcyjnej sprzętu MOCVD, susceptor epitaksji SiC musi posiadać zalety, takie jak odporność na wysoką temperaturę, równomierne przewodnictwo cieplne, dobrą stabilność chemiczną i dużą odporność na szok termiczny. Susceptor Semicorex SiC Epitaxy spełnia wszystkie te wymagania.