Semicorex jest Twoim partnerem w ulepszaniu przetwarzania półprzewodników. Nasze powłoki z węglika krzemu są gęste, odporne na wysoką temperaturę i chemikalia, które są często stosowane w całym cyklu produkcji półprzewodników, w tym w obróbce płytek półprzewodnikowych i płytek oraz w produkcji półprzewodników.
Komponenty ceramiczne SiC o wysokiej czystości mają kluczowe znaczenie dla procesów zachodzących w półprzewodnikach. Nasza oferta obejmuje części eksploatacyjne do urządzeń do przetwarzania płytek, takich jak łódka z węglika krzemu, łopatki wspornikowe, rury itp. do urządzeń Epitaxy lub MOCVD.
Zalety procesów półprzewodnikowych
Fazy osadzania cienkowarstwowego, takie jak epitaksja lub MOCVD, lub przetwarzanie płytek, takie jak trawienie lub implant jonowy, muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex dostarcza konstrukcję z węglika krzemu (SiC) o wysokiej czystości, która zapewnia doskonałą odporność na ciepło i trwałą odporność chemiczną, a nawet jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi.
Pokrywy komór →
Pokrywy komór stosowane w hodowli kryształów i przetwarzaniu płytek muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne.
Wiosło wspornikowe →
Łopatka wspornikowa jest kluczowym elementem stosowanym w procesach produkcji półprzewodników, szczególnie w piecach dyfuzyjnych lub piecach LPCVD podczas procesów takich jak dyfuzja i RTP.
Rura procesowa →
Rura procesowa to kluczowy element, specjalnie zaprojektowany do różnych zastosowań w przetwarzaniu półprzewodników, takich jak RTP i dyfuzja.
Łódki waflowe →
Wafer Boat jest używany w przetwarzaniu półprzewodników. Został starannie zaprojektowany, aby zapewnić bezpieczeństwo delikatnych płytek podczas krytycznych etapów produkcji.
Pierścienie wlotowe →
Pierścień wlotowy gazu pokryty SiC przez sprzęt MOCVD. Mieszanka ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
Pierścień ostrości →
Semicorex dostarcza pierścień ostrości pokryty węglikiem krzemu, który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.
Uchwyt waflowy →
Ultrapłaskie, ceramiczne uchwyty do płytek próżniowych Semicorex są pokryte SiC o wysokiej czystości, stosowanym w procesie obsługi płytek.
Semicorex oferuje również produkty ceramiczne z tlenku glinu (Al2O3), azotku krzemu (Si3N4), azotku glinu (AIN), tlenku cyrkonu (ZrO2), ceramiki kompozytowej itp.
Dysza ceramiczna Semicorex Zirconia, wykonana z niezwykłą dbałością o szczegóły, jest uosobieniem doskonałości w kontrolowaniu natężenia przepływu zarówno gazów, jak i cieczy z niezrównaną jednorodnością i precyzją. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyt ceramiczny Semicorex z azotku aluminium to najnowocześniejsze rozwiązanie do obróbki płytek półprzewodnikowych, zaprojektowane specjalnie w celu bezpiecznego mocowania płytek na różnych etapach produkcji. To innowacyjne urządzenie, działające jako uchwyt elektrostatyczny (ESC), wykorzystuje wyjątkowe właściwości ceramiki z azotku glinu, aby zapewnić precyzyjne i niezawodne mocowanie płytek. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieMożesz mieć pewność, że kupisz uchwyt na wafle z azotku aluminium z naszej fabryki. Uchwyt do płytek Semicorex z azotku aluminium (AlN) jest niezbędnym elementem w dziedzinie przetwarzania półprzewodników, służąc jako kluczowa platforma do bezpiecznego mocowania delikatnych płytek na różnych etapach produkcji. Wykonany z wysokiej jakości azotku aluminium, znanego z wyjątkowej przewodności cieplnej, wytrzymałości mechanicznej i właściwości izolacji elektrycznej, ten uchwyt na płytki zapewnia optymalne warunki dla precyzyjnych i wydajnych procesów produkcji półprzewodników. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieŁożysko z azotku krzemu Semicorex stanowi szczyt doskonałości inżynieryjnej, oferując niezrównaną wydajność i niezawodność w szerokiej gamie zastosowań przemysłowych. Znane ze swojej wyjątkowej wytrzymałości, trwałości i wszechstronności, łożyska z azotku krzemu stały się preferowanym wyborem w różnych sektorach, od lotnictwa i motoryzacji po medycynę i produkcję. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieDysk Semicorex Silicon Nitride Disk stanowi szczyt innowacji w dziedzinie materiałoznawstwa, łącząc wyjątkowe właściwości krzemu i azotu w wszechstronnej i wytrzymałej formie w kształcie dysku. Wytworzony w wyniku zaawansowanych procesów produkcyjnych, ten dysk z azotku krzemu charakteryzuje się wysoką stabilnością termiczną, doskonałą wytrzymałością mechaniczną, niezwykłą odpornością na zużycie i doskonałą obojętnością chemiczną. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyt Semicorex Alumina Chuck to podstawowe narzędzie w obróbce półprzewodników, starannie wykonane z ceramiki z tlenku glinu. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie