Łopatki wspornikowe z węglika krzemu i ceramiką

PółcorexŁopatki wspornikowe z ceramiki z węglika krzemusą produkowane przez jednoetapowe spiekanie w wysokiej temperaturze zielonego korpusu wydrukowanego w 3D, a następnie obróbkę powlekania poprzez chemiczne osadzanie z fazy gazowej. Podczas rzeczywistej pracy ceramiczne łopatki wspornikowe z węglika krzemu są uruchamiane przez mechaniczne systemy automatyki w celu płynnego i równomiernego przenoszenia elementów zawierających płytki do i z urządzeń do przetwarzania w wysokiej temperaturze (takich jak piece utleniające, piece dyfuzyjne, piece CVD itp.). Te składniki z węglika krzemu mogą skutecznie zapewnić dokładność koncentryczności pomiędzy płytkami a rurami pieca, gwarantując w ten sposób jednorodność i stabilność procesu podczas procesów krytycznych, takich jak dyfuzja, utlenianie i chemiczne osadzanie z fazy gazowej.

Wydajność ceramicznych łopatek wspornikowych Semicorex z węglika krzemu

1. Niska wydajność zanieczyszczeń:

Półcorexwęglik krzemuceramiczne łopatki wspornikowe, poddane precyzyjnej obróbce, osiągają standardy wolne od pyłu i cząstek. Ich matryce mają ściśle kontrolowaną zawartość zanieczyszczeń poniżej 300 PPM, a zawartość zanieczyszczeń w powłoce z węglika krzemu CVD jest nawet niższa niż 5 PPM.

2. Stabilność w wysokiej temperaturze:

Dzięki doskonałej odporności na wysokie temperatury i szok termiczny węglika krzemu, ceramiczne łopatki wspornikowe Semicorex z węglika krzemu mogą przez dłuższy czas utrzymywać swoją stabilność strukturalną w wysokich temperaturach do 1250°C, bez deformacji, zmiękczenia lub uszkodzenia spowodowanego wysoką temperaturą.

3. Wyjątkowa nośność:

Ceramiczne łopatki wspornikowe Semicorex z węglika krzemu zapewniają wyjątkową nośność dzięki unikalnej konstrukcji i doskonałym właściwościom materiałowym (wysoka wytrzymałość mechaniczna i twardość). Ta wyjątkowa nośność pozwala im wytrzymać ciężar dużych partii wafli na potrzeby produkcji masowej, co skutecznie poprawia efektywność przetwarzania partii wafli.

4. Niezwykła odporność na korozję:

Ceramiczne łopatki wspornikowe Semicorex z węglika krzemu wykazują doskonałą odporność na korozję pod wpływem tlenu, chloru i innych substancji korozyjnych występujących w wysokich temperaturach w procesach produkcji półprzewodników i fotowoltaiki. Ta doskonała wydajność ma kluczowe znaczenie dla zapewnienia sprawnego przebiegu procesów produkcyjnych poprzez uniknięcie strat i czasu spowodowanych uszkodzeniem ceramicznych łopatek wspornikowych z węglika krzemu.

Sposób pakowania ceramicznych łopatek wspornikowych Semicorex z węglika krzemu