Semicorex jest Twoim partnerem w ulepszaniu przetwarzania półprzewodników. Nasze powłoki z węglika krzemu są gęste, odporne na wysoką temperaturę i chemikalia, które są często stosowane w całym cyklu produkcji półprzewodników, w tym w obróbce płytek półprzewodnikowych i płytek oraz w produkcji półprzewodników.
Komponenty ceramiczne SiC o wysokiej czystości mają kluczowe znaczenie dla procesów zachodzących w półprzewodnikach. Nasza oferta obejmuje części eksploatacyjne do urządzeń do przetwarzania płytek, takich jak łódka z węglika krzemu, łopatki wspornikowe, rury itp. do urządzeń Epitaxy lub MOCVD.
Zalety procesów półprzewodnikowych
Fazy osadzania cienkowarstwowego, takie jak epitaksja lub MOCVD, lub przetwarzanie płytek, takie jak trawienie lub implant jonowy, muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex dostarcza konstrukcję z węglika krzemu (SiC) o wysokiej czystości, która zapewnia doskonałą odporność na ciepło i trwałą odporność chemiczną, a nawet jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi.
Pokrywy komór →
Pokrywy komór stosowane w hodowli kryształów i przetwarzaniu płytek muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne.
Wiosło wspornikowe →
Łopatka wspornikowa jest kluczowym elementem stosowanym w procesach produkcji półprzewodników, szczególnie w piecach dyfuzyjnych lub piecach LPCVD podczas procesów takich jak dyfuzja i RTP.
Rura procesowa →
Rura procesowa to kluczowy element, specjalnie zaprojektowany do różnych zastosowań w przetwarzaniu półprzewodników, takich jak RTP i dyfuzja.
Łódki waflowe →
Wafer Boat jest używany w przetwarzaniu półprzewodników. Został starannie zaprojektowany, aby zapewnić bezpieczeństwo delikatnych płytek podczas krytycznych etapów produkcji.
Pierścienie wlotowe →
Pierścień wlotowy gazu pokryty SiC przez sprzęt MOCVD. Mieszanka ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
Pierścień ostrości →
Semicorex dostarcza pierścień ostrości pokryty węglikiem krzemu, który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.
Uchwyt waflowy →
Ultrapłaskie, ceramiczne uchwyty do płytek próżniowych Semicorex są pokryte SiC o wysokiej czystości, stosowanym w procesie obsługi płytek.
Semicorex oferuje również produkty ceramiczne z tlenku glinu (Al2O3), azotku krzemu (Si3N4), azotku glinu (AIN), tlenku cyrkonu (ZrO2), ceramiki kompozytowej itp.
Kołnierz płytowy Semicorex Alumina stanowi szczyt wszechstronności i wydajności w inżynierii ceramicznej. Wykonany z ceramiki z tlenku glinu, materiału znanego ze swoich wyjątkowych właściwości, kołnierz ten stanowi idealne połączenie wytrzymałości, odporności na wysokie temperatury i przewodności elektrycznej. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieRurka pieca dyfuzyjnego Semicorex jest kluczowym elementem sprzętu do produkcji półprzewodników, specjalnie zaprojektowanym w celu ułatwienia precyzyjnych i kontrolowanych reakcji niezbędnych w procesach wytwarzania półprzewodników. Jako główne naczynie w strefie reakcji pieca półprzewodnikowego, rura pieca dyfuzyjnego odgrywa kluczową rolę w zapewnieniu integralności i jakości wytwarzanych urządzeń półprzewodnikowych. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieWykładziny rur procesowych Semicorex SiC (węglik krzemu) są kluczowymi komponentami w produkcji półprzewodników w środowiskach wymagających wysokich temperatur i wysokiego poziomu czystości. Te wykładziny rur procesowych SiC zostały specjalnie zaprojektowane, aby wytrzymywać ekstremalne warunki termiczne i utrzymywać wysoki poziom czystości, aby zapewnić, że proces produkcji półprzewodników nie zostanie naruszony. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieŁopatka wspornikowa Semicorex SiC (węglik krzemu) jest kluczowym elementem stosowanym w procesach produkcji półprzewodników, szczególnie w piecach dyfuzyjnych lub LPCVD (niskociśnieniowe chemiczne osadzanie z fazy gazowej) podczas procesów takich jak dyfuzja i RTP (szybkie przetwarzanie termiczne). Łopatka wspornikowa SiC ma za zadanie bezpiecznie przenosić płytki półprzewodnikowe w rurze procesowej podczas różnych procesów wysokotemperaturowych, takich jak dyfuzja i RTP. Służy do podtrzymywania i transportu wafli w rurze procesowej tych pieców. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex Vertical Wafer Boat to kluczowy element w przetwarzaniu półprzewodników, zaprojektowany do bezpiecznego przechowywania i transportu delikatnych płytek krzemowych na różnych etapach produkcji. Wykonane z węglika krzemu (SiC), wytrzymałego i stabilnego termicznie materiału znanego z wyjątkowych właściwości w trudnych warunkach, łodzie te zapewniają integralność i bezpieczeństwo płytek podczas przetwarzania. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex SiC Wafer Transfer Hand stanowi kamień węgielny automatyzacji w procesie produkcji półprzewodników, służąc jako wyrafinowane zrobotyzowane narzędzie do precyzyjnego i wydajnego przenoszenia płytek półprzewodnikowych. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie