Semicorex jest Twoim partnerem w ulepszaniu przetwarzania półprzewodników. Nasze powłoki z węglika krzemu są gęste, odporne na wysoką temperaturę i chemikalia, które są często stosowane w całym cyklu produkcji półprzewodników, w tym w obróbce płytek półprzewodnikowych i płytek oraz w produkcji półprzewodników.
Komponenty ceramiczne SiC o wysokiej czystości mają kluczowe znaczenie dla procesów zachodzących w półprzewodnikach. Nasza oferta obejmuje części eksploatacyjne do urządzeń do przetwarzania płytek, takich jak łódka z węglika krzemu, łopatki wspornikowe, rury itp. do urządzeń Epitaxy lub MOCVD.
Zalety procesów półprzewodnikowych
Fazy osadzania cienkowarstwowego, takie jak epitaksja lub MOCVD, lub przetwarzanie płytek, takie jak trawienie lub implant jonowy, muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex dostarcza konstrukcję z węglika krzemu (SiC) o wysokiej czystości, która zapewnia doskonałą odporność na ciepło i trwałą odporność chemiczną, a nawet jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi.
Pokrywy komór →
Pokrywy komór stosowane w hodowli kryształów i przetwarzaniu płytek muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne.
Wiosło wspornikowe →
Łopatka wspornikowa jest kluczowym elementem stosowanym w procesach produkcji półprzewodników, szczególnie w piecach dyfuzyjnych lub piecach LPCVD podczas procesów takich jak dyfuzja i RTP.
Rura procesowa →
Rura procesowa to kluczowy element, specjalnie zaprojektowany do różnych zastosowań w przetwarzaniu półprzewodników, takich jak RTP i dyfuzja.
Łódki waflowe →
Wafer Boat jest używany w przetwarzaniu półprzewodników. Został starannie zaprojektowany, aby zapewnić bezpieczeństwo delikatnych płytek podczas krytycznych etapów produkcji.
Pierścienie wlotowe →
Pierścień wlotowy gazu pokryty SiC przez sprzęt MOCVD. Mieszanka ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
Pierścień ostrości →
Semicorex dostarcza pierścień ostrości pokryty węglikiem krzemu, który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.
Uchwyt waflowy →
Ultrapłaskie, ceramiczne uchwyty do płytek próżniowych Semicorex są pokryte SiC o wysokiej czystości, stosowanym w procesie obsługi płytek.
Semicorex oferuje również produkty ceramiczne z tlenku glinu (Al2O3), azotku krzemu (Si3N4), azotku glinu (AIN), tlenku cyrkonu (ZrO2), ceramiki kompozytowej itp.
Uchwyt z węglika krzemu Semicorex to wysoce wyspecjalizowany komponent stosowany w produkcji półprzewodników. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach*.
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyt Semicorex SiC lub uchwyt z węglika krzemu to wyspecjalizowany komponent używany głównie w produkcji półprzewodników i precyzyjnej obróbce skrawaniem. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSzkielet maszyny litograficznej Semicorex jest niezbędnym elementem konstrukcyjnym zaprojektowanym w celu wspierania i stabilizacji skomplikowanych maszyn biorących udział w procesach fotolitografii. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieCeramiczne uchwyty do płytek Semicorex Alumina nie są ograniczone do jednej branży; ich unikalne właściwości sprawiają, że nadają się do szerokiego zakresu zastosowań. W sektorze półprzewodników służą do mocowania płytek podczas produkcji chipów. W przemyśle chemicznym ich odporność na korozję czyni je idealnymi do przenoszenia agresywnych substancji. Zastosowania środowiskowe korzystają z ich stabilności i odporności na zużycie, a ich właściwości mechaniczne są wykorzystywane przy opracowywaniu materiałów funkcjonalnych. W Semicorex specjalizujemy się w produkcji i dostarczaniu wysokowydajnych ceramicznych uchwytów do płytek z tlenku glinu, które łączą jakość z opłacalnością.
Czytaj więcejWyślij zapytanieProszek Semicorex SiC, znany również jako proszek węglika krzemu, jest drobno zmielonym materiałem składającym się głównie z węglika krzemu w fazie α typu N. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieProszek węglika krzemu typu N Semicorex (SiC) to domieszkowany materiał SiC o wysokiej czystości, zaprojektowany specjalnie do zaawansowanych zastosowań związanych ze wzrostem kryształów. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie