Lufa grafitowa pokryta węglikiem krzemu

Bęben grafitowy pokryty węglikiem krzemu Semicorex to idealny wybór do zastosowań w produkcji półprzewodników, które wymagają wysokiej odporności na ciepło i korozję. Jego wyjątkowa przewodność cieplna i właściwości dystrybucji ciepła sprawiają, że idealnie nadaje się do stosowania w procesach LPE i innych środowiskach o wysokiej temperaturze.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Jeśli chodzi o produkcję półprzewodników, grafitowy korpus pokryty węglikiem krzemu Semicorex jest najlepszym wyborem ze względu na wyjątkową wydajność i niezawodność. Wysokiej jakości powłoka SiC oraz doskonała gęstość i przewodność cieplna zapewniają doskonałą dystrybucję ciepła i ochronę nawet w najbardziej wymagających środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjności.

Nasz korpus grafitowy pokryty węglikiem krzemu zapewnia równomierny profil termiczny, gwarantując najlepszy laminarny przepływ gazu. Zapobiega przedostawaniu się zanieczyszczeń do płytki, dzięki czemu idealnie nadaje się do stosowania w pomieszczeniach czystych. Semicorex jest producentem i dostawcą grafitu powlekanego SiC na dużą skalę w Chinach, a nasze produkty mają dobrą przewagę cenową. Z niecierpliwością czekamy na to, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w branży półprzewodników.

Parametry beczki grafitowej pokrytej węglikiem krzemu

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	µm	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (CTE)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300

Cechy lufy grafitowej pokrytej węglikiem krzemu

- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają dobrą gęstość i mogą odgrywać dobrą rolę ochronną w wysokich temperaturach i korozyjnych środowiskach pracy.

- Susceptor pokryty węglikiem krzemu stosowany do wzrostu monokryształów ma bardzo dużą płaskość powierzchni.

- Zmniejsz różnicę współczynnika rozszerzalności cieplnej pomiędzy podłożem grafitowym a warstwą węglika krzemu, skutecznie poprawiaj siłę wiązania, aby zapobiec pękaniu i rozwarstwianiu.

- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.

- Wysoka temperatura topnienia, odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze, odporność na korozję.