Płyta odbiorcza

Wykonany z grafitu o wysokiej czystości i pokryty warstwą węglika krzemu (SiC) przy użyciu techniki MOCVD, dysk Semicorex Susceptor Disc łączy w sobie wyjątkowe właściwości termiczne z niezwykłą stabilnością chemiczną. Powłoka z węglika krzemu zapewnia doskonałą odporność na wysokie temperatury i warunki korozyjne, kluczowe dla utrzymania integralności dysku susceptorowego w trudnych warunkach.

Dodatkowo powłoka SiC na dysku susceptorowym zwiększa jego przewodność cieplną, co pozwala na szybką i równomierną dystrybucję ciepła, co jest krytyczne dla stałego wzrostu epitaksjalnego. Skutecznie pochłania i oddaje ciepło, zapewniając stabilną, jednolitą temperaturę niezbędną do osadzania cienkich warstw. Ta jednorodność jest niezbędna do uzyskania wysokiej jakości warstw epitaksjalnych, które mają fundamentalne znaczenie dla funkcjonalności i wydajności zaawansowanych urządzeń półprzewodnikowych.

Konstrukcja dysku susceptorowego uwzględnia również wyzwanie związane z rozszerzalnością cieplną. Minimalny współczynnik rozszerzalności cieplnej zapewnia silne połączenie z warstwami epitaksjalnymi, zmniejszając ryzyko pękania w wyniku cykli termicznych. Ta cecha, w połączeniu z wysoką temperaturą topnienia dysku Susceptor i doskonałą odpornością na utlenianie, pozwala na niezawodną pracę w ekstremalnych warunkach.

Dzięki tym zaawansowanym właściwościom dysk Susceptor nie tylko spełnia, ale przewyższa rygorystyczne wymagania nowoczesnych zastosowań MOCVD, zapewniając niezawodne, wysokowydajne rozwiązanie, które zwiększa ogólną wydajność i wydajność procesu wzrostu epitaksjalnego.