Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).
Węglik tantalu (TaC) to związek składający się z tantalu i węgla. Ma metaliczną przewodność elektryczną i wyjątkowo wysoką temperaturę topnienia, co czyni go ogniotrwałym materiałem ceramicznym znanym ze swojej wytrzymałości, twardości oraz odporności na ciepło i zużycie. Temperatura topnienia węglików tantalu osiąga szczyt przy około 3880°C, w zależności od czystości i ma jedną z najwyższych temperatur topnienia wśród związków binarnych. To sprawia, że jest to atrakcyjna alternatywa, gdy wymagania dotyczące wyższych temperatur przekraczają możliwości wydajności stosowane w procesach epitaksjalnych złożonych półprzewodników, takich jak MOCVD i LPE.
Dane materiałowe powłoki Semicorex TaC
Projektowanie |
Parametry |
Gęstość |
14,3 (gm/cm3) |
Emisyjność |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Twardość (HK) |
2000 |
Rezystancja (om-cm) |
1×10-5 |
Stabilność termiczna |
<2500 ℃ |
Zmiana wymiaru grafitu |
-10~-20um (wartość referencyjna) |
Grubość powłoki |
Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |
|
|
Powyższe wartości są typowymi wartościami |
|
Uchwyt grafitowy Semicorex TaC Coated Graphite Chuck to wysokowydajny komponent przeznaczony do precyzyjnego przenoszenia płytek i procesów wysokotemperaturowych w produkcji półprzewodników. Wybierz Semicorex ze względu na jego innowacyjne, trwałe produkty, które zapewniają optymalną wydajność i trwałość w wymagających zastosowaniach półprzewodników.*
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień Semicorex TaC to wysokowydajny komponent przeznaczony do wzrostu monokryształów SiC, zapewniający optymalną dystrybucję przepływu gazu i kontrolę temperatury. Wybierz firmę Semicorex ze względu na naszą wiedzę specjalistyczną w zakresie zaawansowanych materiałów i inżynierii precyzyjnej, zapewniając trwałe i niezawodne rozwiązania, które zwiększają wydajność i jakość procesów półprzewodnikowych.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieCzęść z węglika tantalu Semicorex to element grafitowy pokryty TaC, przeznaczony do wysokowydajnych zastosowań w zastosowaniach związanych ze wzrostem kryształów węglika krzemu (SiC), oferujący doskonałą odporność temperaturową i chemiczną. Wybierz Semicorex, aby uzyskać niezawodne, wysokiej jakości komponenty, które poprawiają jakość kryształów i wydajność produkcji w produkcji półprzewodników.*
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścienie z węglika tantalu Semicorex to krytyczne elementy stosowane w zaawansowanych procesach produkcji półprzewodników. Znani ze swojej wyjątkowej twardości, wysokiej temperatury topnienia i obojętności chemicznej, firma Semicorex poświęca się dostarczaniu produktów spełniających najwyższe standardy jakości i wydajności, zapewniając, że nasi klienci pozostają w czołówce innowacji w branży półprzewodników.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor to grafitowa taca pokryta węglikiem tantalu, stosowana do epitaksjalnego wzrostu węglika krzemu w celu poprawy jakości i wydajności płytki. Wybierz Semicorex ze względu na zaawansowaną technologię powlekania i trwałe rozwiązania, które zapewniają doskonałe wyniki epitaksji SiC i dłuższą żywotność susceptora.*
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścienie prowadzące z powłoką TaC to pierścienie grafitowe z powłoką z węglika tantalu, przeznaczone do stosowania w piecach do wzrostu kryształów węglika krzemu w celu poprawy jakości kryształów. Wybierz Semicorex ze względu na zaawansowaną technologię powlekania, zapewniającą doskonałą trwałość, stabilność termiczną i zoptymalizowany wzrost kryształów.*
Czytaj więcejWyślij zapytanie