Nośniki półprzewodników Semicorex z powłoką SiC, stanowiące integralną część systemu wzrostu epitaksjalnego, wyróżniają się wyjątkową czystością, odpornością na ekstremalne temperatury i solidnymi właściwościami uszczelniającymi, służąc jako taca niezbędna do podparcia i ogrzewania płytek półprzewodnikowych podczas krytyczna faza osadzania warstwy epitaksjalnej, optymalizując w ten sposób ogólną wydajność procesu MOCVD. W firmie Semicorex zajmujemy się produkcją i dostarczaniem wysokowydajnych nośników płytek z powłoką SiC, które łączą jakość z opłacalnością.
Nośniki waflowe Semicorex z powłoką SiC wykazują wyjątkową stabilność termiczną i przewodność, niezbędne do utrzymania stałych temperatur podczas procesów chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zapewnia to równomierny rozkład ciepła na podłożu, co ma kluczowe znaczenie dla uzyskania wysokiej jakości właściwości cienkiej warstwy i powłoki.
Nośniki płytek z powłoką SiC są produkowane zgodnie z rygorystycznymi normami, zapewniając jednolitą grubość i gładkość powierzchni. Ta precyzja jest niezbędna do uzyskania stałych szybkości osadzania i właściwości folii na wielu płytkach.
Powłoka SiC działa jak nieprzepuszczalna bariera, zapobiegając dyfuzji zanieczyszczeń z susceptora do płytki. Minimalizuje to ryzyko zanieczyszczenia, które ma kluczowe znaczenie przy produkcji urządzeń półprzewodnikowych o wysokiej czystości. Ich trwałość nośników płytek Semicorex z powłoką SiC zmniejsza częstotliwość wymiany susceptorów, co prowadzi do niższych kosztów konserwacji i zminimalizowanych przestojów w operacjach produkcyjnych półprzewodników.
Nośniki płytek Semicorex z powłoką SiC można dostosować tak, aby spełniały określone wymagania procesu, w tym różnice w rozmiarze, kształcie i grubości powłoki. Ta elastyczność pozwala na optymalizację susceptora w celu dopasowania go do unikalnych wymagań różnych procesów wytwarzania półprzewodników. Opcje dostosowywania umożliwiają opracowywanie projektów susceptorów dostosowanych do specjalistycznych zastosowań, takich jak produkcja na dużą skalę lub badania i rozwój, zapewniając optymalną wydajność w określonych przypadkach użycia.