AL2O3 Próżni Chucks

Semicorex al₂o₃ próżniowe uchwyty są precyzyjnym mikroporowatym elementem ceramicznym opracowanym do obsługi, fiksacji i przetwarzania w branży półprzewodnikowej. Wykonane z czarnego tlenku glinu o kontrolowanej porowatości 35%-40%, jest to wyjątkowo stabilne, czyste i niezawodne medium do procesów adsorpcji próżniowej. Chuck łączy ceramiczne przetwarzanie podłoża na powierzchni funkcjonalnej przy użyciu zaawansowanych technik produkcyjnych w celu zapewnienia spójnej wydajności ssania dla kruchego płytki użytkownika podczas krytycznych etapów procesu.

CzarnyAlumina (al₂o₃); Ma unikalną równowagę siły mechanicznej, twardości i odporności chemicznej w porównaniu z metali i polimerami. Struktura mikroporowata jest zoptymalizowana pod kątem kontrolowanej porowatości w celu zapewnienia stałego rozkładu próżniowego na powierzchni próżniowego chucka. Konsekwentny rozkład próżni w pełnej powierzchni chucka opłatek minimalizuje zlokalizowane stężenie naprężeń, ograniczając ryzyko zniekształceń opłat, odpryskiwania krawędzi i pęknięcia. Ponieważ wytwarzanie waflowe wciąż zwiększa się o średnicy, a geometrie i urządzenia stają się bardziej kruche, wydajność procesu i ulepszona niezawodność obsługi wafli stają się kluczowymi wymaganiami.

Kontrolowana porowatość 35–40% stanowi kluczową charakterystykę tego próżniowego chucka. Zoptymalizowana sieć porów może zminimalizować turbulencje podczas ewakuacji powietrza z obszaru porów i utrzymać siłę trzymania, zachowując siłę mechaniczną i trwałość. Natomiast mechaniczne zaciski wykorzystują płytki, które powodują zlokalizowane punkty naprężenia i działają w stosunku do właściwości mechanicznych poszczególnych płytek. Mikroporowata powierzchnia tlenku glinu jest zatem lepsza w utrzymywaniu płytek płaskich i niezgodnie podczas podejść mechanicznych. To jest idealnym kandydatem na zaawansowane technologicznie procesy półprzewodników, które korzystają z płaskości i gładkości opłat, w tym litografii, trawienia, osadzania i metrologii.

Z perspektywy termicznej czarny materiał tlenku glinu ma doskonałą zdolność do utrzymania stabilności wymiarowej podczas podwyższonej temperatury. Przy niskim współczynniku rozszerzalności cieplnej, próżniowy chuck jest w stanie pozostać dokładny nawet podczas cykli ogrzewania i chłodzenia, co jest kluczowym aspektem ze względu na szybką fluktuację temperatury często występującą w środowiskach przetwarzania opłat. Twardość i odporność na zużycie tej ceramiki również zwiększają długowieczność Chucka, zmniejszając częstotliwość konserwacji operatorów sprzętu i obniżając całkowity koszt własności.

Newa chemiczne ceramiki glinu jest kolejną istotną właściwością. W półprzewodnikowych FAB elementy sprzętu muszą tolerować agresywne chemikalia, środki czyszczące lub środowiska plazmowe bez pogorszenia. Czarny tlenek glinu ma doskonałe właściwości odporności na korozję, utlenianie i/lub zanieczyszczenie powierzchni, a tym samym zachowuje strukturę i stabilność strukturalną/fazową podczas podekscytowanych okresów cyklu roboczego. Ta nieruchomość na miejscu oznacza również, że wafle nie są poddawane zanieczyszczeniu, które chroni obwód przed działaniem tych urządzeń, a także ufa protokołom czystym.

Nie tylko przyczepy próżniowe Al₂o₃ wykazują doskonałą funkcjonalną wydajność, ale wykończenie powierzchni jest również ściśle kontrolowane. Wykończenie jest tworzone przy użyciu bardzo precyzyjnych procesów obróbki i polerowania, które dają jednolitą płaskość i gładkość, dzięki czemu można utrzymać delikatne płytki bez zadrapań lub uszkodzenia powierzchni. Wysoce zaprojektowana porowatość materiału daje odpowiednią równowagę między ssą a ochroną powierzchni, umożliwiając odpowiednią siłę trzymania na waflu, unikając jednocześnie uszkodzenia cienkich, kruche podłoża.

Z operacyjnego punktu widzenia chucki próżniowe są kluczowym elementem we współczesnej produkcji półprzewodników. Ułatwia automatyzację, umożliwiając zbieranie, umieszczanie, ustawianie i przetwarzanie wafli, niezawodnie spełniające wymagania procesu. Czarny kolor glinu również pomaga i zapewnia pragmatyczne zalety poprzez zmniejszenie odbicia światła podczas inspekcji optycznych i procesów pomiarowych, szczególnie tam, gdzie stosuje się wyposażenie optyczne.

Połączenie zaawansowanej technologii ceramicznej z dobrze rozumianym wzorem przyniosło, w Al₂o₃ Vacuum Chucks, długotrwałym, wysokowydajnym rozwiązaniu dla wyzwań związanych z obsługą producentów półprzewodników. Uchrynianie próżniowe Al₂o₃ poprawia wydajność poprzez zmniejszenie utraty opłat, zmniejsza przestoje ze względu na trwałość i zwiększa stabilność procesu poprzez zapewnienie stałej siły trzymania próżni.

Semicorex al₂o₃ próżniowe Chucks wykonane z mikroporowatej czerniglinkajest czymś więcej niż tylko elementem; Jest kluczowym czynnikiem produkującym precyzyjną produkcję półprzewodników. Dzięki zoptymalizowanej porowatości, wyjątkowym właściwościom materiału i solidnej wydajności zapewnia niezawodne obchodzenie się z płytkami w najbardziej wymagających procesach produkcyjnych. Dla producentów, którzy chcą osiągnąć wyższą wydajność, lepszą wydajność procesu i doskonałą wydajność sprzętu, Black Glinum Vacuum Chuck jest niezbędnym wyborem.