Uchwyty Semicorex z węglika krzemu są specjalnie zaprojektowane do sprzętu fotolitograficznego i mają wiele zalet, takich jak wysoka precyzja, ultralekka waga, wysoka sztywność, niski współczynnik rozszerzalności cieplnej i doskonała odporność na zużycie.
Półcorexuchwyty z węglika krzemuto funkcjonalne urządzenia adsorpcyjne wykonane zwęglik krzemuMateriał ceramiczny (SiC). Stosowane są głównie w półprzewodnikach, fotowoltaice, produkcji precyzyjnej i innych scenariuszach, które mają niezwykle wysokie wymagania dotyczące odporności na wysokie temperatury, odporności na zużycie, odporności na korozję chemiczną i czystości materiałów.
Materiał ceramiczny SiC ma odporność na wysoką temperaturę i utrzymuje stabilność strukturalną w środowiskach o wysokiej temperaturze. Dzięki doskonałej przewodności cieplnej pozwala szybko odprowadzić ciepło powstałe podczas adsorpcji, zapobiegając przegrzaniu przedmiotu obrabianego. Wyjątkowa twardość materiału sprawia, że nadaje się on do chwytania szorstkich lub twardych przedmiotów. Ponadto obojętność chemiczna materiału ceramicznego SiC sprawia, że jest on odporny na korozję pod wpływem silnych kwasów, silnych zasad i rozpuszczalników organicznych. Niska zawartość zanieczyszczeń w tym materiale pozwala uniknąć zanieczyszczeń i wydłuża normalny czas pracy sprzętu, spełniając wymagania przemysłu półprzewodników dotyczące ultraczystości.
Typowe cechy uchwytów Semicorex z węglika krzemu
Typowe cechy uchwytów Semicorex z węglika krzemu
2. Polerowanie lustrzane
3. Bardzo lekka waga
4. Wysoka sztywność
5.Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej
6. Doskonała odporność na zużycie
Zastosowanie Scenariusze uchwytów z węglika krzemu
Produkcja półprzewodników
Transfer i przetwarzanie płytek: W procesach takich jak fotolitografia i trawienie, płytka musi być stabilnie zaadsorbowana w środowisku próżniowym, aby uniknąć błędów przemieszczenia.
Odporność na korozję plazmową: W procesie trawienia półprzewodników doskonała odporność na korozję może wydłużyć żywotność produktu.
Produkcja ogniw fotowoltaicznych
Cięcie płytek krzemowych: Adsorbuje płytki krzemowe, aby zapobiec wibracjom cięcia i zmniejszyć stopień fragmentacji płytek krzemowych.
Produkcja precyzyjnej optyki i elektroniki
Odporność na korozję plazmową: W procesie trawienia półprzewodników doskonała odporność na korozję może wydłużyć żywotność produktu.
Uchwyty z węglika krzemu stały się kluczowymi materiałami eksploatacyjnymi w wysokiej klasy branży produkcyjnej ze względu na ich doskonałą wydajność, promującą postęp technologiczny w branżach takich jak półprzewodniki, fotowoltaika i produkcja precyzyjna.