Porowate aluminiowe Chucks

Porowate chucks z półkolistami są specjalnie zbudowane dla najbardziej delikatnych wafli. Ich porowata konstrukcja zapewnia konsekwentny rozkład próżni na powierzchni Chucka, co zapewnia zmniejszone zlokalizowane naprężenie i pomaga w zapobieganiu odpryskiwaniu krawędzi i pęknięciu. Mechaniczne zaciskanie (solidne lub inne) nie jest tak skuteczne, jak sieć mikroporowata, która zawiera nawet delikatne wafle bez nadmiernego ograniczenia naprężenia mechanicznego, jednocześnie bezpiecznie mocując opłatę, ponieważ struktura mikroporowata zapobiega zużycie i zapewnia delikatne wstrzymanie. Potrzeba jednolitej adsorpcji na całej powierzchni Chucka jest szczególnie kluczowa dla waflów, które są większe i cieńsze, które mogą tolerować znacznie mniejszy naprężenie podczas automatycznego obsługi i podczas wykonywania wysokich etapów przetwarzania precyzyjnego.

Zoptymalizowany pod kątem 35-40% porowatości, Chuck opracowuje sieć porów wzajemnych podłączających się, które służą do ewakuacji powietrza, zapewniając jednocześnie wystarczającą wytrzymałość mechaniczną, aby utrzymać opłatek do sił procesowych. Oznacza to, że siła trzymania próżni pozostaje stabilna podczas poruszania płytek, nawet w szybkiej kolejności, podczas wykonywania złożonej sekwencji procesu. Adsorpcja w sieci mikroporowatej zapewnia większą stabilność niż po prostu poprzez tworzenie różnic w ciśnieniu w układzie próżniowym.

Czarny tlenek glinu (al₂o₃), sam jest ostatecznym materiałem, ponieważ jest twardy, odporny na zużycie i chemicznie bezwładny. Nie rozłoży żadnej znaczącej powierzchni i nie będzie miało wpływu przez powtarzające się cykle opłatek (adsorpcja/ ochłodzenie umiejscowienia/ próżni). Czarnyglinkajest stabilny wymiarowo, dlatego nie zmieni się pomimo zmian temperatury, które występują naturalnie podczas procesu (ogrzewanie i chłodzenie) lub w środowisku.

Odporność chemiczna jest kolejną kluczową zaletą czarnego tlenku glinu. Chuck może działać w agresywnych środowiskach czyszczenia, osocza i trawienia bez uszczerbku dla jego integralności strukturalnej. Jego bezwładność zapobiega zanieczyszczeniu powierzchni opłat, zapewniając wysoką czystość procesu i przestrzeganie standardów pomieszczeń czystych.

Struktura mikroporowata oferuje również wspomagającą powierzchnię, która łagodzi stężenie naprężeń na cienki i kruche wafle. W tandemie z precyzyjną płaską powierzchnią i gładkim wykończeniem powierzchni porowatymi chucks glinu zminimalizują występowanie mikro-szkiełek i zadrapań, które mogłyby zagrozić integralności opłatek pod ręką.

Alumina ceramicznaMa doskonałą twardość, wysoką wytrzymałość mechaniczną, niski współczynnik rozszerzenia termicznego i doskonałą stabilność termiczną, co czyni go praktycznym materiałem do precyzyjnego zastosowania półprzewodników. Ponadto jego bezwładność chemiczna oznacza, że ​​może wytrzymać kwasy, alkalis i plazmę, podczas gdy właściwości oporności na zużycie zapewniają trwałość, te zalety sprawiają, że tlenk jest materiał z wyboru dla mikroporowatych przyczepek próżniowych oraz zapewniać zarówno niezawodność, jak i przewidywalność wydajności.

Podsumowując, porowate chucki tlenku glinu są zaprojektowane w celu dostarczania jednolitej i przeżywalnej obsługi płytki. Jego mikroporowatą czarną strukturę tlenku glinu oferuje nawet adsorpcję próżniową (jednorodność) przy jednoczesnym minimalizowaniu naprężeń mechanicznych i zmniejszenia uszkodzenia opłat. Jako chuck, znaczna i optymalna porowatość wraz z wyjątkowymi właściwościami termicznymi, mechanicznymi i chemicznymi pomaga zoptymalizować bezpieczeństwo, wartość i niezawodność działalności w trudnych warunkach wytwarzania. Doskonałe połączenie solidnego, jednolitego i bezpiecznego obsługi, które porowate glinu mogą oferować producentom, jest po prostu rzadkie i wyjątkowe.