Idealny do epitaksji grafitu i procesu przenoszenia płytek, Semicorex ultra-czysty monokrystaliczny silikonowy susceptor epitaksjalny zapewnia minimalne zanieczyszczenie i zapewnia wyjątkowo długą żywotność. Nasze produkty mają dobrą przewagę cenową i obejmują wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor to grafitowy produkt pokryty wysoko oczyszczonym SiC, który ma wysoką odporność na ciepło i korozję. Nośnik powlekany węglikiem krzemu CVD stosowany w procesach tworzenia warstwy epitaksjalnej na płytkach półprzewodnikowych, który charakteryzuje się wysoką przewodnością cieplną i doskonałymi właściwościami rozprowadzania ciepła.
Nasz monokrystaliczny silikonowy susceptor epitaksjalny został zaprojektowany w celu uzyskania najlepszego laminarnego przepływu gazu, zapewniając równomierność profilu termicznego. Pomaga to zapobiegać wszelkim zanieczyszczeniom lub dyfuzji zanieczyszczeń, zapewniając wysokiej jakości wzrost epitaksjalny na chipie waflowym.
Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszym monokrystalicznym silikonowym susceptorze epitaksjalnym.
Parametry monokrystalicznego krzemu epitaksjalnego susceptora
Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC |
||
Właściwości SiC-CVD |
||
Struktura krystaliczna |
Faza FCC β |
|
Gęstość |
g/cm³ |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Wielkość ziarna |
μm |
2~10 |
Czystość chemiczna |
% |
99.99995 |
Pojemność cieplna |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Feleksualna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Moduł Younga |
Gpa (zgięcie 4-punktowe, 1300°) |
430 |
Rozszerzalność cieplna (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Cechy susceptora epitaksjalnego z krzemu monokrystalicznego
- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają dobrą gęstość i mogą odgrywać dobrą rolę ochronną w wysokich temperaturach i korozyjnych środowiskach pracy.
- Susceptor pokryty węglikiem krzemu stosowany do hodowli monokryształów ma bardzo dużą płaskość powierzchni.
- Zmniejsz różnicę współczynnika rozszerzalności cieplnej między podłożem grafitowym a warstwą węglika krzemu, skutecznie popraw siłę wiązania, aby zapobiec pękaniu i rozwarstwianiu.
- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.
-Wysoka temperatura topnienia, odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze, odporność na korozję.