Susceptor wafla z monokrystalicznego krzemu

Susceptor do płytek krzemowych monokrystalicznych Semicorex to idealne rozwiązanie do procesów epitaksji grafitowej i przenoszenia płytek. Nasz ultraczysty produkt zapewnia minimalne zanieczyszczenie i wyjątkową trwałość, dzięki czemu jest popularnym wyborem na wielu rynkach europejskich i amerykańskich. Jako wiodący dostawca nośników płytek półprzewodnikowych w Chinach, nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Nasz epitaksjalny susceptor z krzemu monokrystalicznego to produkt grafitowy pokryty SiC o wysokiej czystości, który ma wysoką odporność na ciepło i korozję. Nośnik pokryty węglikiem krzemu CVD jest stosowany w procesach tworzących warstwę epitaksjalną na płytkach półprzewodnikowych. Ma wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła, które są niezbędne dla wydajnych i precyzyjnych procesów produkcji półprzewodników.
Jedną z kluczowych cech naszego susceptora wafla z krzemu monokrystalicznego jest jego doskonała gęstość. Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają dobrą gęstość i mogą odgrywać dobrą rolę ochronną w środowiskach pracy o wysokiej temperaturze i korozyjnym. Susceptor pokryty węglikiem krzemu stosowany do wzrostu monokryształów ma bardzo dużą płaskość powierzchni, która jest niezbędna do utrzymania wysokiej jakości produkcji płytek.
Kolejną ważną cechą naszego produktu jest zdolność do zmniejszania różnicy współczynnika rozszerzalności cieplnej pomiędzy podłożem grafitowym a warstwą węglika krzemu. Skutecznie poprawia to siłę wiązania, zapobiegając pękaniu i rozwarstwianiu. Dodatkowo zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu charakteryzują się wysoką przewodnością cieplną i doskonałymi właściwościami rozprowadzania ciepła, zapewniając równomierne rozprowadzanie ciepła podczas procesu produkcyjnego.
Nasz susceptor z monokrystalicznych płytek krzemowych jest również odporny na utlenianie i korozję w wysokiej temperaturze, co czyni go niezawodnym i trwałym produktem. Jego wysoka temperatura topnienia zapewnia, że może wytrzymać środowisko o wysokiej temperaturze wymagane do wydajnej produkcji półprzewodników.
Podsumowując, susceptor waflowy z monokrystalicznego krzemu Semicorex to ultraczyste, trwałe i niezawodne rozwiązanie do procesów epitaksji grafitowej i przenoszenia płytek. Doskonała gęstość, płaskość powierzchni i przewodność cieplna sprawiają, że idealnie nadaje się do stosowania w środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjności. Jesteśmy dumni z dostarczania produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach i nie możemy się doczekać współpracy z Tobą w zakresie wszystkich Twoich potrzeb w zakresie nośników płytek półprzewodnikowych.

Parametry susceptora wafla z monokrystalicznego krzemu

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	µm	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (CTE)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300

Cechy susceptora wafla z monokrystalicznego krzemu

- Unikać odklejania się i zapewnić pokrycie całej powierzchni
Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze: Stabilny w wysokich temperaturach do 1600°C
Wysoka czystość: uzyskana przez chemiczne osadzanie z fazy gazowej CVD w warunkach chlorowania w wysokiej temperaturze.
Odporność na korozję: wysoka twardość, gęsta powierzchnia i drobne cząstki.
Odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.
- Uzyskaj najlepszy laminarny przepływ gazu
- Gwarancja równomierności profilu termicznego
- Zapobiegać wszelkim zanieczyszczeniom lub rozprzestrzenianiu się zanieczyszczeń