Epitaksja krzemowa to podstawowy proces wytwarzania układów scalonych. Umożliwia wytwarzanie układów scalonych na lekko domieszkowanych warstwach epitaksjalnych z silnie domieszkowanymi warstwami zakopanymi, tworząc jednocześnie rozwinięte złącza PN, rozwiązując w ten sposób problem izolacji układów......
Czytaj więcejTrawienie na sucho jest główną technologią stosowaną w procesach produkcyjnych układów mikroelektromechanicznych. Wydajność procesu trawienia na sucho ma bezpośredni wpływ na precyzję strukturalną i wydajność operacyjną urządzeń półprzewodnikowych. Aby precyzyjnie kontrolować proces trawienia, należ......
Czytaj więcejTrawienie na sucho to zazwyczaj proces łączący działania fizyczne i chemiczne, przy czym bombardowanie jonami jest kluczową techniką trawienia fizycznego. Podczas trawienia kąt padania i rozkład energii jonów mogą być nierówne.
Czytaj więcejProwadnica aerostatyczna z węglika krzemu to zaawansowany system prowadnic, który łączy w sobie właściwości materiałowe węglika krzemu i technologię aerostatyczną. Służąc jako optymalne rozwiązanie dla wysoce precyzyjnych, niezawodnych i długotrwałych systemów ruchu, aerostatyczna prowadnica z węgli......
Czytaj więcejGłówną metodą wytwarzania monokryształów węglika krzemu jest metoda fizycznego transportu pary (PVT). Metoda ta składa się głównie z wnęki rurki kwarcowej, elementu grzejnego (cewki indukcyjnej lub grzejnika grafitowego), materiału izolacyjnego z grafitowego filcu węglowego, tygla grafitowego, krysz......
Czytaj więcejSOI, skrót od Silicon-On-Insulator, to proces produkcji półprzewodników oparty na specjalnych materiałach podłoża. Od czasu industrializacji w latach 80. XX wieku technologia ta stała się ważną gałęzią zaawansowanych procesów wytwarzania półprzewodników. Wyróżniający się unikalną trójwarstwową struk......
Czytaj więcej